近日
园区企业
南京埃米仪器科技有限公司
完成Pre-A轮数千万元新一轮融资
南京埃米仪器科技有限公司（以下简称：埃米仪器）成立于2022年，坐落于南京江北新区研创园，致力于引领国内高精密3D量测设备的国产化，解决相关领域的卡脖子技术问题。
公司的产品与技术已获得国内领先芯片制造企业的认可，其在线工业级原子力显微镜已完成某芯片头部企业的产品正式交付，这对推动国内先进工艺的发展，提高芯片制造良率，缩短制程研发周期具有重要意义。
在线工业级原子力显微镜量测设备（全自动机台）
埃米仪器创始人杨见飞博士拥有多年先进量测和封装设备研发经验。公司拥有一支强大的研发团队，目前已与南京大学、山东大学、南智光电研究院等国内外科研院所、机构建立密切合作关系。
近日，埃米仪器完成数千万元Pre-A轮融资，由博将资本领投，其项目投资负责人陆元昊表示：“量测设备未来将与光刻设备并行发展，发挥至关重要的作用，而原子力显微镜作为精度最高的量测设备，在先进制程中正在成为量检测主力设备。埃米仪器仅成立2年时间便成功研发出国内首台在线工业级原子力显微镜并已实现在某头部芯片客户交付。同时，公司通过推动高通量AFM、混合量测等方式弥补传统AFM机台在量检测速度的限制，将大大拓宽传统原子力显微镜的应用领域。我们坚定看好公司的发展，未来也将在多方面持续支持公司。”
埃米仪器成立于 2022 年 8 月，产品聚焦于材料表面的三维形貌量测和检测，主要应用于芯片制造过程中晶圆表面粗糙度、轮廓、关键尺寸和 3D 结构等纳米/亚纳米级结构和特征的量测。公司拥有一支以半导体设备研发专家为核心的研发团队，与南京大学、山东大学、南智光电研究院等国内外科研院所、机构建立密切合作关系。依托埃米仪器核心团队多年技术储备，聚焦高端量测产品开发，包含用于芯片生产过程控制的超快高精密原子力显微镜在线量测设备及高端混合技术量测设备。公司以精密量测设备国产化为目标，攻克核心技术，目前已获得数十项发明专利授权以及量测设备know-how专利，覆盖原子力显微镜和光学量测设备，涉及光电器件、精密机械、定位系统、电气设计等。
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