近日
瑶光半导体（浙江）有限公司的
“SiC激光退火设备”
顺利通过了省级首台（套）
产品工程化攻关项目的验收
问
什么是“首台（套）”？
首台（套）是以开发填补国内空白的重大短板装备（材料、软件），满足重要工程或产业链的需求，或解决产业链中的关键问题。通过这样的项目验收，不仅证明了产品的技术水平，还为产品的市场推广提供了有力支持。
瑶光半导体（浙江）有限公司位于浙江工业大学大学科技园，专注于半导体先进制程设备的研发、生产和销售。
瑶光半导体（浙江）有限公司总经理王涛
激光退火设备是我们企业的核心产品之一，此次通过验收的设备是我们在原有产品基础上进行升级后的第2.5代产品。升级后的设备采用了波长更短的紫外光，使得退火的精确度提高了10倍，从而提高产品的良率，降低生产成本。
双退火模式：局部或全局退火，并开发了路径优化算法，以满足不同工艺需求；
激光自动对焦技术+ 高速光闸装置：解决了因晶圆厚度不同导致激光的聚焦问题，提高了退火的精度；
保护气体填充及匀化技术：提高了退火区域的气体保护效果，确保退火过程的稳定性和一致性。
记 者：徐晟昱、房浩康
编 辑：陈羽然
审 核：张哲萍
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