超大规模集成电路超净厂房的施工管理方案

随着我国超大规模集成电路产业的发展，行业对空气净化要不熟的不断提高，洁净厂房的建设越来越多，净化级别不断提高，净化面积越来越大，而建设方对施工周期要求越来越短，合理的施工组织计是建设一个快速、合格的洁净厂房的保证。本文以某大型洁净生产厂房为例介绍洁净厂房安装工程过程中所采取的洁净保证措施。

1．大型超净厂房的结构特点该洁净厂房采用目前国际上流行的新风机+FFU（风机过滤单元）+FCU（风机盘管）的形式，保证净化的循环风由FFU实现，房间内的温湿度由新风机组和FCU来保证，在空间立面上分成以下几个区域。

（1）.下技术夹层：高度为5.3米，其主要用途为设置气体、给排水等动烽设备，敷设管道电气线路，放置新风机组和FCU等。地面涂层为环氧自流坪，四周用金属壁板封闭。

（2）.生产层：高度为5.4米，为工艺工用室、设备安装区，它是整个厂房的核心空气处于垂直层流状态的功能。活动地板铺设在井字梁上，井字梁表面用水性环氧涂料进行涂装处理。吊顶部分为格栅吊顶系统，局部铺高FFU，其余区域铺设盲板，与上静压箱层隔开。工作层四周金属壁板封闭与非洁净区隔开。

（3）.静压箱层：高度为2.5米，对由经回风夹道进入区域的新风和回风的混合风进行均压处理，并经FFU加压过滤后送入工作区，同时在该区域设置了自动喷淋管道系统（工作层用）和电气系统。静箱层上部用夹芯金属板与上部钢屋架非净化部分分隔开来。

2．立体交叉型的施工组织设计根据本工程的施工总工期控制计划要求，制订了净化厂房安装工程施工总进度计划。在制订总进度计划时，先考虑满足工期的要求，然后突出“洁净”为一切工作目标的思想。根据厂房的结构特点，工作层位于厂房的中部，为厂房的核心区，是要确保的区域。为此采取先外后内，先做活动地板，再做静压箱上顶板和下技术夹层内的工程式，最后做核心区工作层的方案。

2.1 工作面的划分

 本工程井字梁上的洞口尺寸为1.3mX1.3m，为很大的安全隐患，针对这种情况，先进行井字梁下的公用吊架的安装，然后铺后铺设安全网，再安装活动地板。活动地板安装后分5.3m上下肉个作业区,根据安装工程式施工进度计划的要求,对这两个区域的工作分别制订进度计划。

2.2 工程控制节点的划分
      根据项目特点,设置了七个工程控制节点,分别为：洁净室开工、涂装完成、活动地板完成、格栅吊楠系统完成、送电、工艺设备搬入、竣工。

2.2.1 洁净室开工
      洁净室的施工条件要求为封闭式施工，因此洁净室开工的条件为建筑物施工结束，建筑物封闭完成。

2.2.2 涂装完成
      本控制节点要求完成任务的工作内容为生产层的华夫网板、梁、墙壁涂装完，回风夹道涂装完，共用支架和安全网安装结束，活动地板支脚打孔完成。将产尘量大的工作内容如打孔等工作内容安排在本节点内基本完成。

2.2.3 活动地板完成
      本节点控制的工作内容为活动地板安装完成，下技术夹层的中涂完成，同时静压箱上顶板和墙板开始安装，空调设备、泵、换热器等开始搬动安装，各种风管开始制作安装，各种管道的配管和电气管开始进行。

2.2.4 格栅吊顶系统完成节点
      本节点控制的主要工作内容为格栅吊系统安装完成，下技术层的墙板安装完成，同时要求风管和各种管道的主管配管完成，电气配管线基本完成。

2.2.5 送电节点
      本节点控制的工作内容为空调机开始逐台单机送电试运转,同时要求空调风管除保温外全部完成,空调配管除试压保温外全部完成。

2.3 工艺设备搬入
      本阶段要求内装专业封闭全部完成,空调风管保温完成,冷却水、纯水、排水、真空、自来水等管道系统试压完成，动力电源接线完成，照明送电。

2.4 竣工
      本节点要求单体试运转完成，各系统调试、测试合格完成。

3．净化措施提要：本文简要介绍了大型超净厂房安装工程式的特点,从人员污染控制、物流污染控制、洁净阶段的划分等方面阐述了在洁净厂房安装施工过程中所采取的污染控制措施。

3.1 人员污染控制
      净化厂房建设的核心是“洁净”，人员是施工安装过程中的最大污染源。控制人员的污染是施工组织设计首要解决的问题。

3.1.1 办证制度
      在每一净化阶段对进入净化厂房的施工人员时行培训，合格后相应的胸版，只有佩戴胸牌的人才被允许进入净化厂房。

3.1.2 人员方向
      明确规定人流路线及方向，在上下工作区各吸设一个人员出入口，所有人员只有一条人流路线，采取这一措施可有效控制人流污染源。

3.1.3 人员净化
      在人流入口处设置专用的净化小室，供所有出入人员进行人身净化，根据不同净化阶段的要求进行更衣、换鞋、戴帽，使所有洁净区的人员进行一次人身和工具的净化。

3.2 物流污染控制
      物流是仅次于人流的大污染源，所有施工人员和管理人员均应严格按照净化要求进行。

3.2.1 专用的搬入口
      在上下工作区各设一个专用的搬入口，所有物料进入只能经过此搬入口厂房，采取这一措施能控制不洁物料的随意时入。

3.2.2 物料清洁
      对所有进入净化厂房的物料应进行清洁处理，搬入前应用抹布擦拭和用水擦洗后方能进入。
      在物料净化处理过程中，按物料在生产过程中的功能和作用，详细制订不同的净化标准，并采用取相液压措施。对气体输送用材料、纯水用材料、新风输送管道及阀组、工艺设备安装用材料等列为物料净化中的重点，以确保净化厂房的最终使用要求。

3.3 净化阶段的划分
      对安装施工的全工程按净化要求分三个阶段实施，并制定阶段目标和具体要求。

3.3.1 一般水平的污染控制阶段
      这一阶段开始前，净化区除设备搬入预留孔外，建筑的窗、内粉刷应施工完成，风管、管道用预留洞口应临时封堵。这一阶段可界定为上下工作面四周壁板完成为止，工作内容如防尘涂装、空调机组安装、动力设备、一次配管和配线（电缆桥架及电气配管配线）、活动地板安装、顶壁板安装等。
      本阶段目标是物料净化，一般清扫净化。本阶段要求各项工作工完料清，开孔时用真空吸尘器进行吸尘，并每周进行一次净化的整体清扫。在进入第二净化阶段前需进行一次彻底的全面清扫，对各个死角、弯角都要进行整理擦洗干净。

3.3.2 较高水平的污染控制阶段
     这一阶段可界定为第一阶段之后、空吹之前的作业过程，工作内容如格栅吊顶施工、电气接线和配电盘安装、下夹层机器管道和风管设备施工。本阶段要求设置专门的清扫员负责整个工作面的清扫工作，要求每个工作人员工完料清，并每周进行一次净化间的整体清扫，产尘作业基本上不可以进行。为安装FFU及高效过滤器作准备，在进入第三净化阶段前安排一次全面的清扫擦洗，要求以纯水或洒精为原料，用不产尘的高级纺布进行细致辞清擦，并开启真空吸尘系统对各个部分进行吸尘。

3.3.3 高水平的污染控制阶段
      这一阶段右界定为空吹之后、直至调试交付的施工过程，工作内容如安装FFU和高效过滤器、下夹层的地坪涂装（表层）、设备的试运转、电气设备的检查和各种报警的确认、净化间的测试等工作。
      本阶段要求专设的清扫员在净化厂房内用纯水或酒精擦拭，抹布应为不产尘的化纤材料，所有进入净化厂房的人员应穿净化服和净化鞋，产尘的纸箱等严禁进入净化间，普通纸张、铅笔禁止使用。在测试前要求集中力量进行一次全面擦拭，以确保测试质量，为工艺设备安装创造条件。 

4．总结净化工程是控制污染的工程，要将洁净要求贯穿于整个施工全过程，从一开始就要重视文明施工、重视污染控制，从着装的逐步提高，清扫的逐步加强，搬入机具和资材的污染控制，人流的分阶段控制，人流物流通道的逐步减少，直至彻底控制污染，最终才能建造一个合格的大面积超净厂房。

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