上海一家芯片公司完成5亿元融资
科技
2024-11-06 11:25
安徽
根据爱企查11月5日信息，睿励科学仪器（上海）有限公司完成近5亿元战略资金，此次融资由金石投资与招商致远携手领投，并获得河南资产、金信资本及鼎青投资等多家机构的跟投支持。资金将重点投入于提升半导体先进制程光学量检测设备的国产替代水平，拓宽产品线，并增强市场拓展能力。公开资料显示，睿励科学仪器（上海）有限公司是归国留学生团队在上海市政府支持下成立于2005年创建的合资公司，致力于研发、生产和销售具有自主知识产权的集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备。公司产品已成功实现产业化，在集成电路芯片制造、LED、OLED、光通讯等领域都有广泛应用。作为工艺检测设备的领军企业，公司自主研发的薄膜测量、光学关键尺寸测量、光学缺陷检测等系列产品填补了我国在该领域的空白，是国内仅有的几家进入国际领先的300mm集成电路芯片生产线的集成电路高端装备企业之一。TFX4000E——薄膜厚度测量设备 l 可量测多种材料薄膜 l 提供薄膜可靠和精确的厚度、折射率、成分比率和应力测量 l 输出产能高，具有较高的性价比 l 可量测范围更宽广，超厚膜和超薄膜量测能力更稳定 l 全新椭圆偏振光路设计 l 机械运动性能可靠，稳定性表现卓越TFX4000i——薄膜厚度测量设备 l 可量测多种材料薄膜 l 提供薄膜可靠和精确的厚度、折射率、成分比率和应力测量 l 输出产能高，具有较高的性价比 l 可量测范围更宽广，超薄膜量测能力更稳定 l 机械运动性能可靠，稳定性表现卓越 l 功能丰富、易用的软件和算法TFX3000P——薄膜厚度测量设备 l 可量测多种材料薄膜 l 提供薄膜可靠和精确的厚度、折射率、成分比率和应力测量 l 低持有成本（COO），输出产能高，具有极高的性价比 l 机械运动性能可靠，稳定性表现卓越 l 功能丰富、易用的软件和算法 全面支持工厂自动化要求TFX4000OCD——光学关键尺寸量测 光学关键尺寸量测产品基于光学膜厚量测平台，搭载自主研光学关键尺寸量测产品基于光学膜厚量测平台，搭载自主研发算法功能，可应用于显影后检查（ADI）、刻蚀后检查（AEI）等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁角度（SWA）、高度（Height）/深度等关键尺寸（CD）特征或整体形貌测量。- 睿励科学仪器（上海）有限公司正式成立；公司入驻金桥园区标准厂房
- 睿励举行国内首台光学测量设备TFX3000产品发布会，同年取得首台销售
- 睿励光学测量设备TFX3000获得三星闪存生产线批量订单
- 睿励光学膜厚测量设备和AOI FSD系列陆续出货客户，累计出货近60台
- 睿励自主研发的新一代光学膜厚量测设备（TFX4000i）正式交付国内重要客户
- 睿励12吋高精度光学缺陷检测设备(WSD300)装箱出货
- 睿励自主研发的第三代光学膜厚测量设备成功交付国内重要客户
- 睿励多台设备齐发货，单日出货量创新高（1天内同时向华南区重要客户发出了4台光学缺陷检测设备及1台适用于先进制程的光学膜厚量测设备）
