深紫外激光利剑——准分子激光器

创业   2024-11-12 11:59   北京  
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准分子激光器是一种传统的气体激光器,其凭借波长短(深紫外)、短脉冲宽度、高脉冲能量、高重复频率、可实现窄线宽等技术优点,成为激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD)、光纤光栅(FBG)刻写、飞秒眼科LASIK、激光光刻、深紫外激光加工、光刻、半导体材料加工等方面占主导地位。截至目前,脉动科技已陆续在国内安装了数十套准分子系统,并凭借优异的产品质量和稳定的售后服务赢得了广大用户认可。

脉动科技经营的准分子激光器覆盖以下技术指标,可应对各种特定的应用场景,主要有:

波长:193nm, 248nm, 308nm

脉冲能量范围:20mJ-1000mJ

重复频率段位:10Hz,100Hz,1000Hz,4000Hz,6000Hz

线宽:普通线宽,1pm, 0.35pm

本文从以上四个维度简单介绍不同准分子系列产品的技术指标和对应应用,方便大家对准分子激光器各个型号的了解及选型。

1. 小型准分子激光器

CL5000系列




★重复频率:100Hz,200Hz,300Hz

★可选波长:193nm, 248nm,308nm

★脉冲能量:20mJ/193nm, 40mJ/248nm,25mJ/308nm

★目标应用:光栅光纤刻写FBG, 准分子眼科LASIK,深紫外激光加工

2. 小型KHz准分子激光器

CLS5000系列




★重复频率:1000Hz(2000Hz可定制)

★可选波长:193nm, 248nm,308nm

★脉冲能量:15mJ/193nm, 20mJ/248nm, 12mJ/308nm

★目标应用:深紫外激光加工,半导体材料加工

3. 高重频高功率准分子激光器

DC4000系列




★重复频率:4000Hz(6000Hz可选)

★可选波长:193nm, 248nm

★脉冲能量:20mJ/193nm, 40mJ/248nm

★功率:80W/193nm, 160W/248nm

目标应用:无掩膜光刻、激光剥离、深紫外激光加工,光刻

4. 标准型大能量准分子激光器

CL7000系列




★重复频率:20Hz,50Hz,100Hz

★可选波长:193 nm, 248 nm, 308nm

★脉冲能量:250mJ/193nm, 400mJ/248nm,300mJ/308nm

★目标应用:脉冲沉积镀膜PLD,光栅光纤(FBG)刻写,材料加工

5. 大能量准分子激光器

CL7700系列




★重复频率:20Hz,50Hz

★可选波长:193nm, 248nm

★脉冲能量:400mJ/193nm, 800mJ/248nm
★目标应用:脉冲沉积镀膜PLD,光栅光纤(FBG)刻写,材料加工

6. 高功率大能量准分子激光器

CL7X300系列




重复频率:300Hz

★可选波长:248nm

★脉冲能量:1000mJ (300W)

★目标应用:准分子激光淬火,激光剥离,半导体加工

7. 单频2KHz准分子激光器

OLS5000系列




重复频率:2000Hz

★可选波长(可定制):193.33–193.40nm, 248.2–248.5nm

★脉冲能量:10mJ/193nm, 20mJ/248nm

★线宽:0.6pm, 1pm

★目标应用:DVU光刻(130nm)

8. 单频4KHz准分子激光器

OLS6000系列




重复频率:4000Hz6000Hz可定制)

★可选波长(可定制):193.33–193.40nm, 248.2–248.5nm

★脉冲能量:5mJ/193nm, 10mJ/248nm

★线宽:0.35pm

★目标应用:DVU光刻(45nm)

9. 长脉宽准分子激光器

CL7308




宽:> 180ns

★波长:308nm
★最高脉冲能量280mJ

★应用:冠状动脉消融,医疗


准分子激光器特点

高能量:可达1000mJ@248nm400mJ@193nm

★高重复频率:20-6000Hz

★功率稳定:可达σ<2%

★通过特殊的种子注入放大技术,可实现单频输出,满足光刻等主要应用

★内置能量探测头:读数直观准确

★预混合供气,使用简单

★全自动计算机控制

★国内安装,独立售后

准分子激光器应用
脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅(FBG)刻写,LASIK,光刻,微纳加工,激光剥离,准分子激光退火,DUV激光光刻机

脉动科技有限公司成立于2006年,是专业的激光器代理公司,致力于国外先进激光器,光电子产品的代理、销售、技术服务和进口业务,服务于国内外高端科研和先进工业市场。现已成为国内最大的激光器代理商之一如您想要了解更多关于准分子激光器的相关信息,请随时留言与我们联系,我们期待与您共同开创激光技术的美好未来!







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