相比常压液氮(-196℃/77.7K)和液氦(-268.9℃/4.215K)实现的低温,本超低温制冷器利用特殊的制冷剂内循环常温运行可实现-103℃~-198℃(170K~75K)的低温!本超低温制冷机无需更换制冷剂,用电即可。
奥地利CryoSpectra公司成立于2016年,致力于低振动超低温制冷设备的开发,为半导体、涂层、真空、研发行业提供广泛的高性能低温产品。CryoSpectra在功率密度(高达200W/cm²)和低振幅(低至亚纳米范围)方面的技术获得了多个专利,具有世界领先地位。本推送为大家介绍CryoSpectra生产的两款超低温制冷设备CryoCooler(冷却温度低至-198°C)和CryoTrap(冷却温度低至-153°C)。该制冷技术刚开始应用于强激光器钛宝石晶体制冷,后来应用扩展到半导体,材料学,低温物理学等领域!
CryoSpectra公司生产的超低温制冷器CryoCooler是一款设计紧凑的高功率循环冷却器,其低温、高冷却性能主要应用于高功率激光器。独特的闭环冷却特征保证其免维护,并且可以在20分钟内达到最终冷却温度,低至-198°C。由制冷机主机、灵活的连接线和特殊的制冷头组成。制冷机主机有水冷式和风冷式两种。制冷头配有真空法兰(KF-50/CFF-40),都是标准的平面抛光和镀金,以确保在传热、反射和抗氧化方面达到最高质量标准,可直接与组装在高功率激光器里的晶体热源相连,保证激光器内无振动。CryoCooler有风冷却和水冷却两种,开机即可使用,无需安装调整和维护。体积也很小,主机可以放在平台下面。
制冷机主机和制冷头 带真空法兰CFF40的标准制冷头
√ 制冷头定向独立冷却性能,免维护;
√ 20分钟内达到最终冷却温度,低至-198°C;
√ 制冷头超低振动,低至亚纳米范围;
√ 制冷头紧凑型设计,重量<0.65kg;
√ 冷却能力高达数千瓦;
√ 制冷机主机占地面积小;
√ 直接在实验室安静运行。
√ 激光器晶体制冷
√ 传感器技术
√ 量子光学
√ 红外探测器
√ 光谱学
CryoSpectra公司生产的超低温肼CryoTrap具有最高的分离速率和高达43000l/s的水蒸气泵速率。设计紧凑,高效节能的压缩机通常只需要500W的电力。冷却温度低至-153°C,可应用于粗真空到超高真空环境。CryoTrap适用于高度污染的真空工艺,如聚对二甲苯应用或CVD涂层工艺。易于安装和清洁使该系统成为标准真空泵(例如旋转叶片泵、涡轮泵)以及多种真空工艺的低温过滤器解决方案。通过使用这些低温泵,工艺生产率可以提高100%。CryoTrap还应用于半导体工业中的其他工艺,例如薄膜工艺设备等。
型号 | CT-100A-960 | CT-100A-1200 | CT-100A-2900 |
水蒸气泵流速 | 14,200l/s | 17,800l/s | 43,000l/s |
制冷温度 | 低至-153°C | ||
表面积 | 960cm2 | 1,200cm2 | 2,900cm2 |
√ 高冷却能力,冷却温度低至-153°C;
√ 适用于恶劣环境,尤其适用于工业应用;
√ 非常适合从粗真空到UHV范围的CVD工艺;
√ 易于集成到OEM
√ 高能效
√ 紧凑、免维护设计
√ 半导体工业
√ 真空技术
√ CVD涂层
√ 传感器技术
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