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10月30日,泉州市生态环境局已受理年产3300吨电子材料项目(二期)环境影响报告表,并进行公示。
据悉,该项目于建设地点位于泉州市惠安县东桥镇泉惠石化园区,建设单位为博纯(泉州)半导体材料有限公司,总投资10300万元。
资料显示,该项目一期建设规模为年产电子材料约900吨,包括乙硼烷、羰基硫、氘气、氟气生产及丙烯、氪气、氙气、BTBAS、一氧化碳、六氟丁二烯、砷烷、磷烷、一氟甲烷、正磷酸、三氟化硼、锗烷、氖气等的提纯、分装及混配等。于2024年7月19日通过阶段性环境保护竣工验收,阶段验收规模为100 t/a 丙烯分装生产线、50.048 t/a 氖气混配气生产线、85.7 t/a 氪气提纯包装生产线、11.78t/a氙气提纯包装生产线、4 t/a 乙硼烷生产线、10.7t/a 磷烷提纯及混配生产线、2.1t/a锗烷混配气生产线的主体、公辅及环保工程。
因市场原因,建设单位拟在一期基础上新增年产电子材料170吨,扩建后总规模为年产电子材料1070吨。
建设单位拟对一期项目丙烯生产线增加提纯工序,并在车间三预留位置增设1 条4t/a 三氟化硼混合氢气充装线,1 条 0.02t/a 四氟化锗混合氢气充装线,1 条0.5t/a 一氧化碳分装线,1 条 1.5t/a 三氟化硼分装线,1 条 1.5t/a 磷烷分装线,1 条3.6t/a 砷烷分装线,现有车间一预留位置增设 1 条 58.88t/a 三氟化磷分装线。