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10月21日，合肥先微半导体材料有限公司高纯电子气体新材料项目（重新报批）环境影响评价信息首次公示。
项目简述
项目名称：高纯电子气体新材料项目（重新报批）
建设单位：合肥先微半导体材料有限公司
建设性质：新建
建设地点：合肥新站高新技术产业开发区珠城西路与通宝路交口西北角
项目概况
合肥先微半导体材料有限公司拟投资50205.9万元建设生产线，项目实施后新增生产能力：
1、提纯：四氯化硅300吨/年、三氯化硼200吨/年、二氯二氢硅200吨/年、超纯氮300吨/年、超纯氩300吨/年、超纯氦10吨/年、三氟化氮500吨/年、二氧化碳100吨/年、氧气200吨/年、氢气20吨/年；
2、混配：磷烷+氢气混合气3000瓶/年、乙硼烷+氢气混合气3000瓶/年、氟气+氮气混合气（1900瓶/年，100台管束车/年）、准分子激光气28000瓶/年；
3、分装：二氧化碳10000吨/年、液氮/氮气3000吨/年、液氩/氩气3000吨/年、液氦/氦气50吨/年；
4、设备配套：超洁净钢瓶年处理20000只/年；
5、储存经营：甲烷50吨/年、硅烷10吨/年、一氧化二氮80吨/年、氟甲烷45吨/年、二氟甲烷45吨/年、三氟甲烷100吨/年、六氟丁二烯50吨/年、六氟化硫100吨/年、四氟化碳100吨/年。
编辑：芯气情报站
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