9月25日
在2024集成电路（无锡）创新发展大会上
由上海交通大学无锡光子芯片研究院建设
国内首条光子芯片中试线
宣布正式启用
人字形大门缓缓展开，它像是通往未来科技的邀请函，拥抱着每一位怀揣梦想与探索精神的旅人。
一座晶莹剔透的玻璃幕墙建筑巍然矗立，在阳光的轻抚下，每一面玻璃都仿佛被赋予了生命，闪烁着智慧与科技交织的光芒，预示着无限可能。
随着夜幕的悄然降临，这座建筑又悄然蜕变，化身为城市夜空中最亮的“光子芯片”，其光芒不仅照亮了四周，更在无形中为无锡这座城市注入了源源不断的活力与灵感。
作为滨湖区竞速量子科技赛道的“头号工程”，也是区域未来产业地标，上海交通大学无锡光子芯片研究院项目终于露出璀璨真容。
光子芯片，是新一代信息技术的核心，能满足新一轮科技革命中人工智能、物联网、云计算、生物医药等领域对传输、计算、存储、显示的技术需求，已成为经济增长新动能，全球竞速的产业高地。
然而一直以来，国内光子芯片行业面临中试平台缺位、工艺技术壁垒高、良品率验证低、产能转化不足、国外平台流片周期长等共性困境，严重制约了创新成果转化落地的“黄金期”。为此，上海交大无锡光子芯片研究院率先在无锡布局国内首条高端光子芯片中试线。
上海交通大学无锡光子芯片研究院于2021年12月在无锡市与上海交通大学全面合作的框架下正式成立，由无锡市滨湖区人民政府、上海交通大学、蠡园经济开发区三方联合共建，引进以上海交大金贤敏教授为核心的研发团队。
2023年10月项目主体结构正式封顶，2024年1月迎来首批设备正式入场。
研究院大楼设计理念融入了光子芯片在实际产品应用元素，办公楼层3-9层主要以玻璃幕墙结构为主，从每块玻璃的凹凸来展现出光波导的形状，整体结构就像一块封装好的光子芯片。
下方以大理石为主的幕墙内就是研究院的实验区域，外立面把光学干涉仪的元素融入在灯带中。晚上整栋大楼灯光亮起的时候就像工作中的光子芯片，仿佛就像无锡这座美丽的城市提供源源不断的创新。
上海交通大学无锡光子芯片研究院作为无锡市在光子芯片、量子科技领域布局的重大项目，自成立以来备受关注。
据悉，该中试平台总面积17000平方米，集科研、生产、服务于一体，配套设施完善且配备超100台国际顶级CMOS工艺设备，覆盖了薄膜铌酸锂光子芯片从光刻、薄膜沉积、刻蚀、湿法、切割、量测等全闭环工艺。平台还兼顾硅、氮化硅等其他材料体系，搭建N个特色工艺平台，形成领先的“1+N”先进光子器件创新平台，不仅可为高校、科研院所、创新企业提供全流程技术服务，还可以为光子产业孵化项目，与产业基金高效联动，打通从产品研发到市场化的完整链条，加速科技成果的商业化转化。
“这也代表了我们已经迈出了万里长征的第一步。”上海交通大学无锡光子芯片研究院副院长朱海峰介绍说，接下来，研究院会围绕过国内首条光子芯片中试线，开展光子芯片流片工艺研发，短时间内能够支撑光子计算、光量子计算、光学人工智能、光通信等领域的产品应用。同时，开展多元化发展，集聚资源，以光子芯片底层技术为驱动，围绕芯、光、智、算等新一代信息技术进行科技成果转化及孵投一体的创业孵化，打造世界级光子芯谷创新生态体系。
中试线正式启用后，预计年产能达10000片晶圆，2025年第一季度将正式发布PDK，提供对外流片服务。
国内首个光子芯片中试平台承载着关键技术攻关、重大科研成果转化、新兴技术产业化落地的使命，为无锡抢先锚定未来技术产业发展，抢占科技竞争制高点、开辟产业发展增长点走出关键一步。
“量子科技”的种子在滨湖播下，如今这颗创“芯”的“科技变量”正在成为滨湖高质量发展的“最大增量”，一批新的增长点、增长极、增长带正在加快孕育，战略新兴产业和未来产业“加速器”作用日益凸显。
一直以来，滨湖高度聚焦上海交通大学光子芯片研究院载体、光子芯片中试线的建设成效，积极推动研究院开展光子芯片、量子科技的关键技术攻关。随着上海交通大学无锡光子芯片研究院光子芯片中试线正式启用将成为滨湖区抢占量子科技赛道布局光子芯片产业集群的生动实践，也是滨湖区推进重大项目建设展现新速度、新成效的又一丰硕成果。
让我们共同期待“量子之花”早日结出“产业之果”。
素材来源：无锡博报
编辑：李强
审核：李宣
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