临淄融媒讯
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公司韩方代表周江华介绍
“这是我们自主研制的
半导体晶圆输送机器人
和晶圆自动上下料机器人，
我们是目前北方唯一一家
生产这种机器人的企业。”
山东现代庆炀智能装备有限公司位于临淄经济开发区，注册资金2亿元，其中使用外资1600万美元。公司全球总部位于韩国大邱广域市，是一家集工业机器人研发、制造、应用于一体的创新型企业，主要产品为可负载220KG工业机器人和自动化成套设备，主营产品采用最新运动控制技术，重复定位精度可达土0.01毫米，是山东省唯一生产重载工业机器人的企业，产品在国内同类产品中处于领先水平。
2024年9月，公司年产5000台（套）工业机器人项目正式投产，目前已生产1000台（套）各类工业机器人系统及其本体订单，主要面向国内汽车主机厂、汽车零部件企业和新能源行业提供产品，下游客户有长安汽车、比亚迪、长城等汽车制造企业，总价值约1.7亿元左右，并与临淄区周边的鹏达环保、巧媳妇、齐都药业等企业达成合作意向，满负荷生产后预计年产值将突破8亿元。
科技创新引领产业创新，企业要发展就要向创新要活力。“以前我们主要是生产六轴工业机器人，现在在晶圆输送机器人上闯出了‘新赛道’。”周江华说。
据了解，晶圆是半导体芯片的核心原料，被广泛应用于各种电子设备中。由于半导体装备制造过程精密复杂，晶圆需要在氧化、扩散、照相制版和光刻等多个生产工序之间进行流转，如何减少晶圆在机器或工厂间输送时受到的污染和损耗成为一大难题，晶圆输送机器人，便承担起这一传输重任。
历经多年研发，通过对机械臂关节模组的各个运动部件进行反复选型、适配与调试，现代庆炀成功研制出半导体晶圆输送和晶圆自动上下料机器人。“这一系列产品能够实现晶圆高效、稳定运输，为晶圆自动化搬运保驾护航。”周江华说，产品研制成功，便吸引了许多企业的目光，目前，公司已与中芯国际、长鑫存储等客户达成意向订单50台（套），价值1.5亿元。
当前，机器人产业正迎来升级换代、跨越发展的战略机遇期，下一步，现代庆炀将计划拓展产品线到泛半导体成套装备，包括面板行业的核心工艺装备，stocker装备、蚀刻设备、蒸镀设备等，助力我国半导体制造装备行业发展。
临淄融媒记者综合报道
