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安捷伦 NEOVAC SY 是一种高质量、低成本的全合成扩散泵油。它具有10-8 Torr 量级的低饱和蒸气压，能够帮助扩散泵获得更好的极限真空和更低的返油率；很好的热稳定性和抗氧化能力，可以承受更长的换油周期。
我们建议使用安捷伦原厂泵油的扩散泵，每 1-2 年更换一次泵油。
由于不同的工艺对泵油的污染程度不同，您也可以根据下图泵油的颜色，完成泵油的更换。
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