从上世纪60年代上市以来，安捷伦（即原瓦里安，下同）扩散泵一直口碑很好。很多用户采购新的真空炉或镀膜机等设备时，会指定安捷伦的型号，也有很多用户——特别是同时有安捷伦和其它扩散泵的客户——联系安捷伦，要求用安捷伦的扩散泵替换其旧设备上的其它品牌的扩散泵。
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扩散泵的原理和结构
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扩散泵是一种蒸气射流泵, 泵油被加热后产生油蒸汽，油蒸汽从伞形喷嘴高速喷出，射流上方的气体扩散到射流内并被高速的大分子油蒸汽携带到泵壁。由于泵壁温度较低，油蒸汽接触到泵壁后会迅速液化，被携带的永久气体继续向下一级射流扩散并被携带至更下一级，直至最后被前级真空泵抽走。一般的扩散泵有3到5级伞形喷嘴，有的扩散泵还会增加一级侧向的喷射喷嘴，喷射喷嘴可以提高扩散泵在较高压力下工作的能力（抽速和前级耐压）。
扩散泵无法取代的独特优势
扩散泵功耗很大，并且使用时需要大量的冷却水，却还被如此广泛的使用，主要原因有下面几点：具有最优的抽速/价格比；
抽速大、可以处理巨大的气体流量；
没有活动部件，高可靠、维护少，寿命长。
由于没有活动部件，扩散泵的结构非常简单直观，所以各种规模和技术水平的公司都能生产，但其抽气原理却又非常复杂，并且看不见摸不着，这就造成了很多公司的产品只能停留在比葫芦画瓢的初级阶段，产品性能不能持续提高，稳定性也无法保证。因此，很多有经验的用户在采购使用扩散泵的真空设备时通常会指定品牌，比如安捷伦。安捷伦扩散泵特点一
抽气快（压力降的快）
与扩散泵相比，前级泵（如罗茨泵）的抽速一般都会比较小，而且，在接近可以开启扩散泵的压力时其抽速又会很明显的下降，所以这个压力段是好多真空设备真空泵抽速的瓶颈。安捷伦扩散泵独特的喷塔设计使其可以开始抽气的压力和到达满抽速的压力都比较高，这样，在前级泵抽速开始下降的阶段就可以更早的以更大的抽速介入，使真空设备的压力可以很多的下降。
扩散泵的返油主要发生在高压力段，即刚刚开始工作的时候。要降低返油率，需要尽可能的缩短在此时间段停留的时间，安捷伦的扩散泵高返油段抽的快是其返油率低的第一个原因。扩散泵工作时，从喷塔高速喷射的油蒸汽在泵壁冷凝后沿泵壁流到下面油池，并从油池边缘向中心流动，在流动的过程中，油的温度逐渐升高，油中沸点比较低的小分子组分，在靠近油池边缘的地方就会汽化，而沸点比较高的大分子组分，则会在靠近油池中心的地方汽化。一般的扩散泵喷塔各级喷嘴之间是互相联通的，而安捷伦扩散泵的喷塔各级喷嘴彼此独立，特别是第一级喷塔，只有沸点最高的大分子油蒸汽才会从这里喷出，这一特点不仅扩散泵极限真空很好，而且由于高沸点的泵油更不容易二次挥发，使得泵的返油率很低。![]()
另外，受热均匀的加热器设计（泵油不易裂解）和标配的水冷帽（挡油效率高）等，也都为安捷伦扩散泵的低返油率贡献了力量。
安捷伦扩散泵特点三
用冷却水少，对冷却水温度要求不高
与普通的扩散泵相比，同样规格的泵，安捷伦扩散泵仅需要50%甚至更低的冷却水流量。而且，安捷伦扩散泵对冷却水的温度要求不高，只要保证排放温度不高于54度即可，当水压较低或最高排水温度高于54度时，还可以采用将冷却水管并联的方式扩展使用区间。
安捷伦扩散泵特点四
维护简单，皮实耐用不爱坏
扩散泵内部没有活动部件，与机械式真空泵的磨损失效不同，其工作失效的原因主要有泵油劣化、加热器损坏、喷塔被油垢污染等等。安捷伦扩散泵独特的管状加热器和压紧结构设计，拥有很高传热效率的同时，又保证了泵油和加热器本身都没有过热点，泵油不容易裂解，加热器也不容易损坏；同时，精细的热传导和保温结构设计，也使热损失大大降低。对使用过的安捷伦扩散泵做过保养的客户都会有一种印象，与别的扩散泵经常会结满黑黑的油垢不同，安捷伦的扩散泵喷塔往往在使用好几年后也非常干净，有客户甚至猜测安捷伦的扩散泵喷塔使用了类似不粘锅的涂层。其实，这主要是因为安捷伦扩散泵喷塔上独特的防焦化挡板设计——在每一级喷嘴的上方，都会有一个与下面的喷塔点接触的罩子，该罩子的温度比喷塔低很多，所以，从上方滴下的油滴就不会落到高温的泵塔上焦化结垢，而是滴落在低温的挡板上，这就保证了安捷伦扩散泵的喷塔可以一直很干净，不用定期费时费力清洗。
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