据天马微电子表示，TM19是天马首条专注于中小尺寸的高世代生产线，工厂实现100%全自动，采用行业最先进的曝光机，解像力可达1.5um；运用行业领先的磁悬浮传送技术，有效降低50%-70%的Particle，实现高洁净度要求；首创行业UMC通道，快速切换线，用时零损耗；首创彩膜工段自动换Mask，标准用时对比行业减少45分钟。TM20借鉴行业内外数十年成熟制造经验，基于精益化、安定生产两大基石，秉持高标准、高自动化、高信息化的智能制造理念，为客户提供客制化的生产方案，实现产线自动化率达90%以上，达到业界先进水准。 END
