TOKUYAMA进军韩国电子级三氯氢硅市场

学术   2024-12-01 23:32   北京  

日前,韩国大德气体公司宣布,Daedeok Gas(韩国大德气体公司)与日本TOKUYAMA(日本德山株式会社)签订三氯氢硅 (SiHCl₃)项目合作协议,通过合作向韩国乃至整个亚洲半导体市场供应高纯三氯氢硅 (SiHCl₃)。新建的群山2号工厂占地约30000平方米,配备了三氯氢硅充装功能。

Daedeok Gas 群山2号工厂

TOKUYAMA(德山株式会社)是日本领先的多晶硅生产商,为主要的半导体生产商供应多晶硅。同时,该公司还生产高纯度三氯氢硅。

韩国大部分特种气体依赖进口,2019年与日本的贸易争端导致半导体行业不可或缺的氟化氢气体供应困难,2022年俄乌战争后稀有气体短缺导致价格飙升。因此,韩国正在积极扩大该国特种气体种类和产能,这对于稳定该国半导体行业供应供应链健康发展至关重要。

但是,在韩国只有一个高纯三氯氢硅充装工厂,这是一个潜在的风险。所以,收购大德气体公司三氯氢硅充装设施将使韩国国内生产设施多样化,并为稳定韩国半导体材料供应链和生产设施做出贡献。

除仁川总部外,大德气体公司还运营着其他五家工厂,该公司正在加强特种气体业务,因为半导体和显示器对特种气体的需求将会越来越大。

大德气体2009年建成并运营的群山工厂生产氦气、高纯氨气、丙烯、环氧乙烷、灭火气体以及各种混合气体。新投入运营的群山第2工厂配备了三氯氢硅 (TCS)、二氯硅烷 (DCS) 和四氯化硅 (STC) 和乙烷的充装功能,以及甲基三氯硅烷 (MTS) 和三氯化硼 (BCl3) 的仓储。

Tokuyama表示:"通过与大德气体公司合作,我们将努力支持高纯三氯氢硅 (SiHCl₃)业务全球发展,首先从进入韩国市场开始。

特种气体三氯氢硅用于半导体CVD工艺和EPI工艺中的硅沉积。目前,德国、日本和美国等国家占据全球市场主导地位。德国瓦克公司(Wacher)、日本德山株式会社(TOKUYAMA)、美国道康宁公司(Dow Corning)等为全球知名电子级三氯氢硅生产商。中国电子级三氯氢硅行业主要生产企业包括三孚股份、晶星科技、洛阳中硅和沁阳凌空等。

资料来源:

--气体圈子

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