-主办单位-
广东省光电信息处理芯片与系统重点实验室
-协办单位-
中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）
/特邀嘉宾/
陈岐岱 教授
吉林大学
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报告题目
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超快激光微纳加工技术与应用
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报告摘要
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基于蓝宝石和石英等硬脆材料的微纳光学元件具有常规光学元件无法比拟的光学成像和光束整形能力，能够大幅度简化光路结构，降低系统重量和尺寸，在航天、航空和激光技术等领域都有紧迫需求。然而，由于尺寸小，无法利用金刚石车床数控铣磨等技术进行加工，如何制备硬脆材料微纳光学元件已经成为一个国际难题。我们提出利用飞秒激光在材料表面产生的初始纳米损伤作为近场探针，调控后续远场脉冲的偏振/能量来产生动态的近场增强以实现远场超分辨自由纳米直写，进一步结合干湿法刻蚀辅助的飞秒激光加工技术；该技术大幅度提高了飞秒激光加工硬脆材料的表面质量和加工效率，进而实现了大面积并行超快激光纳米快速加工，制备了大面积亚波长光栅结构、低损耗集成光子器件和集成复眼系列高性能微光学元件。
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报告人简介
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吉林大学唐敖庆学者特聘教授，博士生导师，集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区主任，《中国激光》副主编，国家自然科学基金杰出青年基金获得者。主要工作从事超快光电子技术研究，聚焦激光精密加工和纳米制造关键技术，为超快激光加工器件功能化、效率和精度提升做出了创新贡献，形成了具有自主知识产权的超快激光微纳加工技术和装备体系。围绕上述工作，在Nature Photonics、Nature Physics、及Light: Science & Application等领域一流杂志发表论文230余篇，论文被SCI论文他引12000余次，H-index 63; 获国家自然科学二等奖、吉林省和教育部自然科学一等奖各一次。主持完成国家重点研发项目和国家自然科学基金重点项目。
供稿：唐万婵、常青木
排版：唐万婵
初审：杨楠
审核：李朝晖
审定发布：刘飞
