来源：大D谈芯
公开资料显示，睿励科学仪器（上海）有限公司是归国留学生团队在上海市政府支持下成立于2005年创建的合资公司，致力于研发、生产和销售具有自主知识产权的集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备。
公司产品已成功实现产业化，在集成电路芯片制造、LED、OLED、光通讯等领域都有广泛应用。作为工艺检测设备的领军企业，公司自主研发的薄膜测量、光学关键尺寸测量、光学缺陷检测等系列产品填补了我国在该领域的空白，是国内仅有的几家进入国际领先的300mm集成电路芯片生产线的集成电路高端装备企业之一。
睿励科学仪器（上海）有限公司正式成立；公司入驻金桥园区标准厂房
睿励成功研发首台薄膜测量设备原理样机
首期产品TFX-1000薄膜测量设备出厂
睿励迁址到张江高科技园区张江创业园
睿励成功自主研发300mm硅片光学测量设备样机
睿励举行国内首台光学测量设备TFX3000产品发布会，同年取得首台销售
睿励光学测量设备TFX3000获得三星闪存生产线批量订单
睿励光学膜厚测量设备和AOI FSD系列陆续出货客户，累计出货近60台
睿励首台自主研发的光学缺陷检测设备出货 睿励自主研发的新一代光学膜厚量测设备（TFX4000i）正式交付国内重要客户 睿励合庆生产基地正式启用
睿励12吋高精度光学缺陷检测设备(WSD300)装箱出货 睿励自主研发的第三代光学膜厚测量设备成功交付国内重要客户
睿励OCD系列设备出货重要客户 睿励明场缺陷检测设备出货国内重要客户
睿励多台设备齐发货，单日出货量创新高（1天内同时向华南区重要客户发出了4台光学缺陷检测设备及1台适用于先进制程的光学膜厚量测设备）
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