11月14日,伴随装载凯世通离子注入机设备的车辆缓缓驶入客户厂区,凯世通业务版图再次拓展,又成功向一家12英寸晶圆厂新客户交付低能大束流离子注入机,这是该工厂首次采购国产离子注入机设备,充分体现了国内主流晶圆厂客户对凯世通的信赖与认可。
作为国产化合作的重要项目,双方在客户端举行了设备搬入仪式,客户相关负责人、凯世通董事长李勇军、凯世通副总经理张长勇以及双方企业员工代表共同见证了这一重要时刻。
凯世通董事长李勇军博士表示,凯世通致力于为客户提供全系列集成电路离子注入机设备,积极推动国产离子注入机技术突破,高质量服务国内集成电路制造企业。新客户的开拓对凯世通而言是新机遇,也是新任务、新挑战,凯世通将紧密围绕客户产品工艺需求,调配精兵强将,提升客户服务水平,随时随地响应客户需求,持续进行机台研发创新与CIP,以高质量的产品、优质的服务,助力客户降本增效、提升产能。
凯世通副总经理张长勇表示,凯世通将以此次交付作为新征程的起点,秉承“时不我待、只争朝夕”的奋斗精神,以优秀的团队、技术领先的设备、忘我的投入,提供优质的设备与服务解决方案,全力做好客户服务,实现与客户合作共赢。
低能大束流离子注入机是凯世通自主研发的主力设备,经过了多家主流12英寸晶圆厂的产品验证与迭代升级,具备优异的电性参数、注入角度与均匀性,曾荣获上海市科技进步一等奖、北京市科技进步一等奖、上海市高新技术成果转化项目自主创新十强等荣誉。