众所周知，从早期的6英寸晶圆厂，到如今的8英寸、12英寸厂成为主流，半导体制造工艺越来越先进，产线中的工序成倍增长，关键机台的吞吐量也在一代代的更迭中迅速增加，传统人力在产线设备间的物料搬运，成为制约生产效率和生产质量的瓶颈。也因此，AMHS从8英寸厂开始显露头角，在12英寸厂中成为标配。
AMHS主要由OHT空中搬运小车、Stocker晶圆存储立库、MCS/OHTC/STKC软件系统等组成。其中Stocker作为AMHS的重要构成，用于洁净室内半导体生产工序及工序之间晶圆载具的存储，可与上位系统进行通讯，实现帐料自动管理。为客户生产现场减少物料搬运拥堵情况，降低传送周期，管理复杂的批次操作，实现物料高效搬运。同时确保机台排产充足，为工厂实现Fully Auto提供重要支持。
Stocker设备打包完毕、发往客户工厂
Stocker专为洁净车间设计，与OHT等自动化设备的协同作业构建起高效的自动物料搬运存储系统AMHS，根据生产计划和需求来优化物料流动。
2、降低人力&提高效率
作为无尘车间内的临时存储库，Stocker可平衡设备及工艺间产能的差异，最大程度缩短晶圆在工艺设备间的流转时间，提高设备利用率；Stocker控制系统可自动向MCS系统更新对应物料的位置信息，实现物料的统一管理，提高工作效率的同时减少人员工作强度。
3、提高产品质量
Stocker内部可达到较高的洁净度，能够满足物料存储对洁净度的要求，同时库存和物料流动的实时追踪有助于快速定位和解决潜在问题，进而提升产品质量、实现制造过程的可追溯性。
4、提高空间利用率
Stocker能够充分利用洁净车间的闲置面积及垂直空间，在相同占地面积中提高仓储容量，从而提高空间利用率。
编辑：丹凤
文章源自：格创东智
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