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近日，武汉纳视智能科技有限公司（以下简称“纳视智能”）和睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“睿励科学仪器”）相继完成融资。纳视智能专注于Mini/Micro LED等高精度量检测设备的研发，而睿励科学仪器则致力于Micro LED等领域的设备发展。近日，纳视智能宣布完成数百万天使轮融资，本轮投资由传新科创领投，资金将主要用于高精度微纳检测与微纳加工设备的研发及市场拓展。纳视智能成立于2023年12月，专注于高精度微纳检测设备和显微加工技术，技术平台涵盖光学检测、光学加工、精密零部件、复合材料和生物荧光成像等领域。公司主要产品包括量检测整机设备、算法平台软件和高端光学模组等。纳视智能重点聚焦于高端光学零部件、复合材料检测设备、Micro LED AOI+PL检测设备、玻璃基板检测设备等，相关产品已实现产业化并批量出货，预计2024年主营产品销售收入将突破1000万元。在研发合作方面，纳视智能已与湖北省光谷实验室、湖北九峰山实验室、福建嘉庚实验室签署了技术研发合作协议，并与厦门大学联合建立了校外实践基地。未来，纳视智能将继续聚焦微纳加工和微纳检测领域，研发透明/半透明零部件和材料量检测设备，同时持续优化Mini/Micro LED等高精度量检测设备，服务泛半导体领域。11月4日，睿励科学仪器完成近5亿元战略融资，本轮融资由金石投资和招商致远联合领投，资金将用于提升半导体制程用光学量检测设备的国产替代能力，丰富产品种类，并加大市场开拓力度。睿励科学仪器成立于2005年，专注于开发、生产和销售具有自主知识产权及核心技术的光学量检测设备，服务集成电路芯片制造工艺。作为国内首批半导体前道工艺国产设备公司，睿励科学仪器也是国内首家专注于量检测领域的半导体设备公司。
睿励科学仪器的主要产品包括薄膜测量、尺寸光学检测设备，以及硅片厚度和翘曲测量设备等，现已成功进入三星和长江存储的生产线，新研制的缺陷检测设备也已在下游客户中得到应用。
在缺陷检测方面，睿励科学仪器推出了FSD系列、WSD系列和BriteSD系列设备，其中WSD系列是首款应用于半导体前道工艺并具备量产能力的国产缺陷检测设备。目前，公司正在进行LED、显示面板及化合物半导体领域的客户验证。
据悉，WSD系列产品专为集成电路芯片及泛半导体工艺（如SiC、OLED、Micro LED等）设计，提供高精度光学晶圆外观缺陷检测，最高检测精度可达100nm，兼容4~12英寸晶圆，支持明场和暗场检测。
值得一提的是，睿励科学仪器与中微公司有着密切的合作关系。2023年，中微公司以5790.21万元收购了睿励科学仪器6.76%的股权，旨在促进产业链延伸并培育新的业务增长点。中微公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售，业务涵盖半导体集成电路制造、先进封装、LED外延片生产、功率器件、MEMS制造等领域。
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LEDinside Mia整理
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