中国红外探测器厂商“百舸争流,各展其长”
红外探测是一种可将接收到的红外辐射转换为便于使用的电信号的传感技术。根据能量转换方式,红外探测器通常分为光子探测器和热探测器两大类。随着科技的不断进步,红外探测器也从敏感材料、探测灵敏度、分辨率、微型化、AI+等方向不断提升,在国家安全、军用装备、国民经济中发挥着越来越重要的作用。本次CIOE中国光博会中,中国厂商以破竹之势成为红外探测技术及应用展的中坚力量。
相较于通常需要制冷的光子探测器,热探测器无需制冷,具有价格便宜、尺寸小巧、技术成熟等优势,是测温仪器、安防监控、执法搜救等民用产品的首选利器。高德红外、睿创微纳、大立科技、海康微影以及光智科技等国内热探测器领先厂商都带来了其核心及创新产品。
武汉高德红外股份公司(简称:高德红外)展出了多款非制冷红外探测器及红外机芯。高德红外FLEXA1212高清非制冷红外机芯是首次展出的晶圆级超小尺寸机芯,分辨率为1280 × 1024,像元尺寸12 μm,尺寸为27.8 × 27.8 × 19.6 mm,具有超轻重量、超低功耗的特性,主要应用于电力巡检、安防监控等领域。高德红外拥有8英寸0.11 μm工艺节点的氧化钒非制冷红外探测器批产型MEMS生产线,提供从探测器、机芯模组到应用的全套解决方案。
高德红外的非制冷红外探测器及红外机芯展示
烟台睿创微纳技术股份有限公司(简称:睿创微纳)展品中最为突出的是全球首款6 μm 640 × 512非制冷红外探测器,同时还展出了10 μm 500万像素非制冷红外机芯和120 Hz非制冷红外机芯。6 μm小像元技术的突破,为无人机、汽车智能驾驶、机器人、AI智能、元宇宙等领域带来了全新的发展机遇与广阔的应用前景。睿创微纳从红外热成像领军者到多维感知布局,在深耕长波非制冷红外热成像领域的基础上,不断拓展制冷长波/中波/短波红外、激光、微波等光谱传感研究。
睿创微纳的非制冷红外探测器及红外机芯展示
浙江大立科技股份有限公司(简称:大立科技)展出了从设计到生产具有完全自主知识产权的200万像素非制冷焦平面探测器及红外机芯,并现场做了2 K高清红外成像。非制冷焦平面探测器应用范围非常广泛,为电力巡检、安防监控、无人机、汽车智能驾驶、机器人等领域增添助益。大立科技具有批产非制冷红外焦平面探测器的能力,拥有国内唯一的军品非制冷焦平面红外探测器(非晶硅技术路线)产业化基地。
大立科技的非制冷红外探测器及红外机芯展示
杭州海康微影传感科技有限公司(简称:海康微影)展出了多款非制冷红外探测器,同时推出了1920像素8 μm红外机芯和1280像素机芯红外机芯两颗新品,本次展品中像元尺寸最小为1280像素12 μm红外机芯。海康微影是海康威视(HIKVISION)子公司,以IDM模式运营,主要生产以氧化钒为敏感材料的非制冷红外探测器,是以MEMS技术为核心的红外探测器解决方案提供商。
海康微影的非制冷红外探测器及红外机芯展示
安徽光智科技有限公司(简称:光智科技)展出了多款金属封装、陶瓷封装和晶圆级封装的非制冷红外探测器。光智科技已建设8英寸硅基MEMS非制冷红外探测器芯片生产线,并掌握了MEMS芯片设计和制造工艺技术及金属、陶瓷和晶圆级封装技术,非制冷探测器已实现最高百万像素级别。
光智科技的非制冷红外探测器及红外机芯展示
在红外技术及应用领域,光子探测器一直以“更高、更快、更远”的目标不断突破,始终占据红外技术前沿的高地。中国科学院上海技物所、夜视院集团、中国电科11所、高德红外、睿创微纳、中航红外、焜腾红外、珏芯微电子、光智科技、中科爱毕赛思以及国惠光电等中国光子探测器厂商都竞相“秀出肌肉”,带着最新产品和创新技术与产业人士交流。
中国科学院上海技术物理研究所(简称:中国科学院上海技物所)展出了系列中波制冷红外探测器及机芯,其中最为突出的是超晶格1280 x 1024中/中波双色红外焦平面探测组件。另外,中国科学院上海技物所还展示了在国际上能直接参与竞争的国内首款天文用短波红外探测器,代表前沿发展和研究方向的中波红外探测器、类视网膜的红外感算芯片以及红外智能识别芯片等,为高端商业应用、红外探测技术创新和发展打下了基础,代表了我国红外探测技术的前沿和科研实力。
中国科学院上海技物所的超晶格1280 x 1024中/中波双色红外焦平面探测组件展示
北方夜视科技研究员集团有限公司(简称:夜视院集团)展出了多款中波和长波制冷红外探测器及制冷机组件,其中,中波1280 × 1024 7.5 μm制冷红外探测器最为亮眼。夜视院集团下属的昆明物理研究所,专门从事红外材料、红外探测器、红外热像仪研发、生产的研究。夜视院集团红外探测器中心是国内规模化红外探测器组件生产和研发中心,具备现代化的柔性生产线,实现了第一代、第二代红外探测器产品的批量生产和工程化应用,并致力于第三代红外探测的研发,掌握多项红外探测器关键技术,具备多项自主知识产权。
夜视院集团的制冷红外探测器展示
中国电子科技集团公司第十一研究所(华北光电技术研究所,简称:中国电科11所)展出了多型号中波和长波碲镉汞(MCT)、锑化铟(InSb)/碲镉汞探测器,高温工作中波红外探测器组件以及小型化中波探测器组件。中国电科11所是从事激光与红外技术的综合性研究所,主要产品包括激光与红外材料、器件、整机及系统等,是我国主要的光电技术研究所之一。
中国电科11所的多款制冷红外探测器展示
高德红外全球首发500万像素高温中波制冷红外探测器。2560 × 2048超高分辨率实时监视图像,视野更宽广,视场覆盖率更高;10 μm像元尺寸,器件架构更紧凑,空间分辨率更大,更加适用于广域远距探测,赋予用户超越以往的全景探测和态势感知能力;焦平面工作温度可达150 K,高温工作性能处在同级别产品中的头部行列。高德红外拥有8英寸0.5 μm工艺节点的碲镉汞制冷红外探测器批产线、8英寸0.5 μm工艺节点的二类超晶格制冷红外探测器批产线,自主完成原材料提纯、生长,到芯片的流片、制造、封装与测试的全套工艺。
高德红外的中波和长波制冷红外探测器及机芯展示
睿创微纳展出15 μm 640 × 512长波、中波Ⅱ类超晶格制冷红外探测器、碲镉汞(MCT)制冷探测器以及短波红外焦平面探测器等。相较于非制冷红外探测器,制冷红外探测器灵敏度更高、响应速度更快,适用于更远距离成像、更高速度的运动目标追踪,可用于特种装备,为光谱传感、空间通信、机器视觉、红外夜视、气体成像、泛半导体检测、生物医学成像等行业带来了全新的解决方案。
睿创微纳的Ⅱ类超晶格、碲镉汞制冷红外探测器及短波红外焦平面探测器展示
中航凯迈(上海)红外科技有限公司(简称:中航红外)展出了自主研发生产的锑化铟(InSb)、铟砷锑(InAsSb)、超晶格(InAs/GaSb)等各型制冷红外探测器,并首次展出了全系列自研读出电路(ROIC)。中航红外主要从事军民两用红外探测器及红外光学研发生产,锑化物探测器科研生产能力处于国内领先水平。
中航红外的各型制冷红外探测器展示
浙江焜腾红外技术股份有限公司(简称:焜腾红外)重磅推出了具有绝对技术优势的2024年新品2 K x 2 K Ⅱ类超晶格高工作温度制冷探测芯片;展出了中波、长波、双色、气体泄漏检测(OGI)共四大系列多款目前市场上最先进的自主研发的高工作温度制冷Ⅱ类超晶格探测器。焜腾红外的制冷Ⅱ类超晶格探测技术攻克了Ⅱ类超晶格材料外延生长、器件结构设计、芯片制备工艺及探测器规模化工艺等方面“卡脖子”关键技术,在Ⅱ类超晶格材料结构的优化设计、器件制备、高真空封装处于国内领先水平。
焜腾红外的Ⅱ类超晶格高工作温度制冷探测器展示
浙江珏芯微电子有限公司(简称:珏芯微电子)展出了包括长波探测器、超小型高温探测器、大面阵探测器、气体探测器等在内的多款特色产品,以及系列特色制冷机。珏芯微电子是一家集化合物半导体晶体及外延材料、集成电路设计、器件工艺、高真空封装、精密制冷机等半导体全产业链的高科技公司,军工资质齐全。
珏芯微电子的各类制冷红外探测器展示
光智科技展出了中波碲镉汞(MCT)、锑化铟(InSb)和长波Ⅱ类超晶格等制冷红外探测器。光智科技已建设2~6英寸中波碲镉汞、锑化铟和长波Ⅱ类超晶格等探测器芯片等多种制冷红外探测器芯片生产线,搭配自主研发生产的制冷机和杜瓦,形成了从制冷红外材料、芯片、封装到器件完整的制冷红外探测器产业链。
光智科技的制冷红外探测器展示
中科爱毕赛思(常州)光电科技有限公司(简称:中科爱毕赛思)展出了三款自主研发和生产的长波和中波超晶格红外焦平面探测器。中科爱毕赛思主要从事III-V族半导体光电材料、器件的研发与生产,掌握了分子束外延生长(MBE)与芯片制备的关键核心技术,具备新一代高性能光电子器件从结构设计、材料外延、器件制备到组件封装的全产业链技术能力。
中科爱毕赛思的超晶格红外焦平面探测器展示
无锡中科德芯感知科技有限公司(简称:中科德芯)是为响应中国科学院服务国民经济主战场、长三角一体化发展的国家战略,于2020 年1月在无锡高新区注册成立。本次展会,中科德芯展示了多款短波红外单元、线列和面阵探测器、短波红外机芯产品。其中,公司新产品A97A530M1-A型短波红外InGaAs面阵探测器、L005225C1-A型延伸波长InGaAs线列探测器、A97A230M1-A型短波红外InGaAs面阵探测器、深致冷A976515V3-B型短波红外InGaAs面阵探测器等产品首次亮相展会,这些新产品具备多档增益、高稳定、高可靠性等优势,广受来宾关注,体现了中科德芯在短波红外探测领域的领先实力。
中科德芯的多款InGaAs短波红外探测器展示
山西国惠光电科技有限公司(简称:国惠光电)展出了多款铟镓砷(InGaAs)短波红外探测器及机芯。国惠光电自主研发生产的15 μm像元的多分辨率InGaAs短波红外芯片将传统的InGaAs探测器光谱响应范围从900 - 1700 nm延展到400 - 1700 nm,可同时实现对可见光、近红外和短波红外的探测和成像,并可根据要求提供半导体制冷器(TEC)制冷,提高探测器的灵敏度。国惠光电拥有国际水准的4英寸III-V族半导体化合物芯片生产线,自主研发并实现工程化生产的红外焦平面探测器芯片及其成像系统,其指标已达到国际先进水平。
国惠光电的多款InGaAs短波红外探测器展示
中芯热成的多款量子点短波红外探测器和制冷型中波红外探测器展示
热门应用群芳竞艳,独具匠心
丰富的多维感知技术与创新的解决方案是本次红外技术及应用展的亮点,也是突破红外产业增速放缓局面的重要手段。各大厂商均各展其能,充分拓展了红外技术在应用端的成果及创意,为后续红外产业发展带来了更多“新想法”和“新可能”。