12月5-7日,由DT新材料主办的第八届国际碳材料大会暨产业展览会(Carbontech 2024)将在上海新国际博览中心隆重举办。同期针对半导体与加工主题特设4大论坛,宽禁带半导体及创新应用论坛、超硬材料与超精密加工论坛、金刚石前沿应用与产业发展论坛、培育钻石论坛,已邀请国内外知名专家和企业莅临交流,欢迎报名。
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李蕊 13373875075
最新的三季度数据显示,中国工业转型升级正步入加速度阶段。截至目前,全国已累计培育421家国家级智能制造示范工厂,建成超过一万家省级智能工厂,中国“灯塔工厂”总数达到72家,占全球总数的42%。同时,规模以上工业单位的增加值能耗持续下降,展现出我国产业结构正变得更加“新”、“绿”与“智能”。这一系列成就的背后,是无数企业与地区不断探索与创新的结果,河南省在超硬材料领域的突破便是其中的典型例证。
图源:公开网络
不久前,一条年产70万克拉功能性金刚石的生产线在郑州正式投入规模生产。这条生产线不仅提升了单晶金刚石的品质,还成功将其应用领域拓展至半导体等高端行业。四方达超硬材料股份有限公司技术总监朱肖华表示:“这一举措旨在帮助我们迅速占领光学、热学以及半导体等广阔市场。在这个领域,技术一旦落后一步,市场机遇就可能错失十步。”
金刚石被誉为“工业的牙齿”,在深地钻探、航空航天以及芯片制造等关键领域扮演着不可或缺的角色。河南作为全球金刚石单晶产量约70%的产地,已形成了全国唯一的全产业链超硬材料产业集群。然而,河南省工业和信息化厅材料工业处处长杨勇指出,尽管产量领先,但高端制品在国内市场的份额仅占20%。部分上中游产品以低价出口国外,经过加工成为高端产品后再高价回流至国内,进口价格甚至达到出口价格的6至20倍。
为了改变这一现状,河南企业必须以技术创新为突破口,寻找产业的新出路。随着集成电路产业的蓬勃发展,金刚石已成为备受瞩目的半导体材料之一。国际上对金刚石材料,尤其是用于“第四代半导体”的金刚石材料实施出口管制,试图对我国进行技术封锁。面对这一挑战,四方达超硬材料股份有限公司通过自研设备,实现了生产装备的全面国产化,并计划达到1000台的规模。
这一突破并非易事。在基础研究、生产批量化等方面,企业面临着一系列难题。为此,河南省政府在省级层面组建了创新联合体,吸引科研院所的核心力量与企业共同攻克难关。郑州大学金刚石光电材料与器件实验室博士林超男表示:“虽然实验室环境下的研究成果已经很好,但将单台设备扩展到100台设备时,会遇到许多实验室中未曾遇到的问题。我们需要一步一步去克服这些困难。”
河南超硬材料产业的突破,不仅是中国工业转型升级的一个缩影,也是我国产业迈向更高质量、更可持续发展道路的重要一步。
第八届国际碳材料大会暨产业展览会
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半导体及加工产业现状与趋势
12月5日 周四 上午
09:40-10:10
SiC产业发展分析与技术的新进展
赵正平,中国电子科技集团有限公司原副总经理
10:10-10:40
报告方向:超精密抛光技术研究进展
袁巨龙,浙江工业大学超精密加工技术研究中心主任
11:10-11:40
报告方向:芯片级金刚石晶圆
江南,中国科学院宁波材料技术与工程研究所研究员
11:40-12:10
报告方向:大功率芯片散热的解决方案
郭跃进,深圳大学异质异构国家重点实验室研究员、原Intel公司首席专家
金刚石前沿应用及产业发展论坛
金刚石生长与前沿应用专题
12月5日 周四 下午
13:35-14:00
金刚石增强导热复合材料与技术
朱嘉琦,哈尔滨工业大学教授
14:00-14:25
报告方向:金刚石量子前沿科技
Milos Nesladek,哈塞尔特大学教授
14:25-14:45
议题待定
Rahul Gaywala,印度Sahajanand Technologies Private Limited公司CEO
15:10-15:35
报告方向:金刚石信息功能传感和电子器件
廖梅勇,日本国立物质材料研究所(行程确认中)
15:35-15:55
报告方向:金刚石量子应用案例
赵博文,安徽省国盛量子科技有限公司创始人
15:55-16:15
硼掺杂金刚石电极的调控与电化学工程应用
魏秋平,中南大学教授
16:15-16:35
议题待定
嘉宾待定,普敦实验室设备(上海)有限公司
16:35-16:55
高灵敏性金刚石热敏电阻器件研究新进展
陈巧,中国地质大学(武汉)副教授
热管理应用及产业化解决方案专题
12月6日 周五 全天
09:30-09:55
金刚石在激光领域的应用研究
杭寅,中国科学院上海光机所研究员
09:55-10:20
三维集成金刚石先进散热技术进展
于大全,厦门大学教授
10:20-10:45
使用CVD金刚石散热器提升高功率密度芯片的性能
lan Friel,元素六业务拓展经理、首席科学家
11:10-11:35
金刚石材料的激光加工
王成勇,广东工业大学副校长
11:35-12:00
CVD金刚石散热材料制备及产业化应用
魏俊俊,北京科技大学教授
12:00-12:20
太原理工大学团队(行程确认中)
13:30-13:55
金刚石常温键合技术在高性能半导体器件散热中的应用
梁剑波,大阪公立大学副教授
13:55-14:20
朝着光束全方位调控的金刚石激光技术
白振旭,河北工业大学教授
14:20-14:40
Effect of gas phase nucleation on nano- and polycrystalline diamond growth in conventional MPCVD chamber
Mariia Lambrinaki,苏州思体尔软件科技有限公司CEO
14:40-15:00
精密磨抛技术在金刚石材料加工中的应用
梁浩,北京特思迪半导体设备有限公司
15:30-15:55
集成电路先进封装的钻石中介层
宋健民博士
15:55-16:15
微射流激光先进技术基于大尺寸金刚石高品质分片及微流通道制备方案
杨森,西安晟光硅研半导体科技有限公司
16:15-16:25
小分子液态源MPCVD制备超纳米金刚石薄膜材料及应用研究
熊鹰,西南科技大学教授
16:25-16:45
基于COMSOL仿真的圆柱形谐振腔MPCVD中金刚石沉积的调控
杨黎,昆明理工大学教授
12月7日 周六 上午
10:00-12:00
闭门讨论:金刚石在热管理市场怎么用?从哪个角度切入热管理市场一块蛋糕?(仅限邀请)
宽禁带半导体及创新应用论坛
12月5日 周四 全天
10:25-11:00
议题待定
王英民,中国电子科技集团公司第四十六研究所首席专家
11:00-11:25
第三代半导体表面处理技术及装备
王德君,大连理工大学教授
11:25-11:45
基于氮化镓半导体的微波无线供电技术
敖金平,江南大学教授
11:45-12:05
以碳化硅为代表的第三代半导体产业演进及未来趋势
梁赫,重庆鬃晶科技有限公司总经理
13:30-13:55
Si基GaN器件及系统研究与产业前景
于洪宇,南方科技大学深港微电子学院院长
13:55-14:20
报告方向:金刚石半导体器件产业化进展
王宏兴,西安交通大学教授
14:20-14:40
磨抛工艺在超宽禁带半导体材料衬底制备中的应用
王彬,合美半导体(北京)有限公司总经理
15:10-15:35
报告方向:晶圆键合
王晨曦,哈尔滨工业大学教授
15:35-16:00
金刚石薄膜的制备与电学性能研究
胡晓君,浙江工业大学教授
16:00-16:20
报告方向:半导体先进键合集成技术与应用
母凤文,北京青禾晶元半导体科技有限责任公司、天津中科晶禾电子科技有限责任公司董事长兼总经理
16:20-16:40
山东大学团队(邀请确认中)
超硬材料与超精密加工论坛
先进加工技术及应用方案专题
12月6日 周五 上午
09:30-09:55
议题待定
康仁科,大连理工大学教授
09:55-10:20
议题待定
吴勇波,南方科技大学教授
10:50-11:15
金刚石的超精密加工技术现状与发展
赵清亮,哈尔滨工业大学教授
11:15-11:40
化学气相法制备单晶微刃金刚石磨料及工具新技术
孙方宏,上海交通大学教授
11:40-12:05
纳秒激光诱导活性金属等离子体反应刻蚀单晶CVD金刚石研究
温秋玲,华侨大学副教授
半导体切磨抛难题解决方案专题
12月6日 周五 下午
13:30-13:55
碳化硅晶圆减薄磨削装备及砂轮技术
尹韶辉,湖南大学无锡半导体先进制造创新中心主任
13:55-14:20
金刚石加工碳化硅晶圆衬底技术现状与趋势
栗正新,河南工业大学材料学院教授、河南工大高新产业技术研究院院长
14:20-14:45
金刚石衬底化学机械抛光原子级去除机理探讨
戴媛静,清华大学天津高端装备研究院常务副所长
14:45-15:05
金刚石超光滑与平坦化工艺路径探索
邓辉,南方科技大学机械与能源工程系研究员
15:30-15:55
大尺寸碳化硅晶圆加工过程面临的挑战与对策
张保国,河北工业大学教授
15:55-16:20
金刚石晶圆的磨抛一体化加工研究进展
陆静,华侨大学教授
16:20-16:40
硬脆材料的金刚石线切割过程切割力动态建模
梁列,西安理工大学青年教师
12月7日 周六 上午
10:00-12:00
闭门讨论:半导体CMP抛光“卡脖子”难点探讨