什么是扫描电子显微镜 (SEM)?
定义:扫描电子显微镜,Scanning Electron Microscopy 是一种利用聚焦电子束扫描样品表面,获得高分辨率图像的显微技术。
SEM 的分辨率与成像原理
- SEM 使用电子束,波长比光波更短,分辨率显著提升。
- 高电压(如15 kV):更深的穿透深度,适合较厚样品。
- 低电压(如5 kV):表面细节更清晰,但穿透深度较浅。
SEM 的工作原理
- 电子与样品相互作用,产生二次电子、背散射电子、X 射线等信号。
信号检测与图像生成:检测器捕获信号,计算机生成高分辨率图像。SEM 的样品制备
- 生物样品和非导电材料需涂覆导电薄膜(如金、铂、碳、四氧化锇)。
- 使用固定剂(如戊二醛)处理生物样品,保持样品形态。
参考文献
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