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五台山历代兴建
五台山是文殊菩萨道场，佛教传入五台山和五台山建寺，与《华严经》的传译有关。《华严经》汉译三种，最早的译本是佛陀跋陀罗所译《六十华严》，完成于北魏太武帝登基（424年）前三年（421年）。其中“菩萨住处品”上说“东北方有菩萨住处，名清凉山。过去有菩萨常于中住，彼现有菩萨名文殊师利，有一万菩萨，常为说法。”佛教徒们据此寻找清凉山。就在佛教徒们十几年寻找清凉山的过程中，太武帝征讨凉州（439年）后，“徙凉州民三万余家于京师”，并开始了第一次灭佛。那些寻找清凉山和逃进山林的凉州僧人发现五台山地势高峻，清幽凉爽，与经中所说相符，便确定了清凉山即是五台山。于是五台山便有了“神迹灵怪，逸于民听”，也开始有了佛教寺庙。
《广清凉传》载：“佛光寺为燕宕昌王（西凉羌族小国）所立。宕昌王巡游礼谒，至此山门，遇佛神光，山林遍照，因置额，名佛光寺。”而且在离佛光寺四五里的地方还有座宕昌寺。宕昌王归附北魏即在太武帝登基的始光元年（424年），归附时，宕昌王弥忽派遣儿子弥黄为使来朝贡，弥黄在北魏住下来，一直没有回去，由他儿子虎子接了爷爷的王位。佛光寺和宕昌寺很可能就是弥黄所建。如今佛光寺仍有座北魏所建祖师塔，即为证明。
关于佛教何时传入五台山，众说纷纭，有言周穆王时的，有言西汉的，有言东汉明帝时的，有言魏孝文帝时的。言东汉与北魏孝明帝者，皆以大孚灵鹫寺之建立为依据。顾炎武认为汉以前不可能，他在《五台山记》中说：“余考之，五台山在汉为虑虒县，而山之名始见于齐。其佛寺之建，当在后魏（北魏）之时，而彼教之人以为摄摩腾自天竺来此，即居是山。不知汉孝明图像之清凉台在洛阳而不在此也。”
顾炎武后魏之说甚为得当。《清凉山志》北魏以前五台山：“其山五峦，巍然迥出群山之上，故谓五峰。晋永嘉三年（309年），雁门郡葰人县（今繁峙县）百余家避乱入此山，见山人为之步驱而不返，遂宁居岩野。往还之士，时有望其居者，至诣寻访，莫知所在，故人以是山为仙者之都矣。《仙经》云：‘五台山名为紫府，常有紫气，仙人居之。’”此时的五台山周围“五百里内，林木茂密，虎豹纵横，五峰无路，人迹罕通。其川原之处，皆黄冠所居。”显然当时的五台山不会建有佛寺。
循着顾炎武后魏之说在《魏书·帝纪》和《魏书·释老志》中一个个仔细检索，太祖道武帝“好黄老，颇览佛经，对沙门道士，多致精敬，禁军旅无所犯，“但天下初定，戎车屡动，庶事草创，未建图宇招延僧众也”。
太宗明元帝“亦好黄老，又崇佛法，京邑四方，建立图像，仍令沙门敷导民俗”。是明元帝开始建寺庙，但不事帝王，则法事难立，所建多在京城周围。
世祖太武帝“初即位，亦遵太祖、太宗之业，每引高德沙门，与其谈论。于四月八日，舆诸佛像，行于广衢，帝亲御门楼，临观散花，以致礼敬”，但在他登基十年之后却发生了三次灭佛。
第一次灭佛在太延五年（439年）十月，《魏书·释老志》“太延中，凉州平，徙其国人于京邑，沙门佛事皆俱东，象教弥增矣。寻以沙门众多，诏罢年五十已下者。”所谓灭佛只因从凉州迁回沙门佛事后，僧侣骤增，供养不起，所以让五十岁以下僧人还俗，以减轻负担、补充兵员与劳力。
第二次则因转信道教废佛，道士寇谦之，从太武帝始光元年来到平城，首先让司徒崔浩信了道教，在崔浩影响下，逐渐使太武帝崇信。信道以后，发现有人私藏沙门，太平真君五年（444年）下诏：“不得私养沙门，有私养者，过期不出，沙门身死，主人门诛”。
第三次灭佛。在太平真君八年（446年），太武帝率兵前去镇压卢水胡盖吴起义，到长安后，在一寺内发现兵器，怀疑沙门与盖吴通谋，下令诛杀此寺僧人。在寺中又发现酿酒器具及州郡牧守富人寄存的财物数以万计，还有暗室藏匿妇女。……司徒崔浩劝帝灭佛。太武帝下令诛杀长安沙门，焚毁佛像，敕留守平城的太子拓跋晃下令四方依长安行事。诏曰：“昔后汉荒君，信惑邪伪，妄假睡梦，事胡妖鬼，以乱天常，自古九州之中无此也。……有司宣告征镇诸军、刺史，诸有佛图形像及胡经，尽皆击破焚烧，沙门无少长悉坑之。”
虽然灭佛行动一次比一次严酷，但正是太武帝这三次灭佛，才使佛教传入了五台山。太武帝446年第三次灭佛到他451年驾崩，实际只持续了六七年时间。太子拓跋晃对他的劝谏他虽然没听，但太子“犹缓宣诏书，远近皆豫闻知，得各为计。四方沙门，多亡匿获免，在京邑者，亦蒙全济。金银宝像及龙袜诸经论，大得秘藏。”有了在平城监国的太子缓宣诏书，也就给了僧尼们逃匿的足够时间，这才使僧尼多逃匿获免。
从凉州迁回的沙门能使京邑平城的僧徒骤增，人数当不会少。这些沙门先是被迫还俗，后又遭遇坑杀命运，逃进深山老林的肯定很多，在京城及其附近的僧尼逃匿者估计躲进五台山的不少。僧人们进入五台山后，当然要有个住的地方，于是有了最初岩穴洞窟、茅庵草舍的寺庙。
太武帝太子拓跋晃早逝，孙子高宗文成帝即位的兴安元年（453年），一登基便下诏恢复佛教，让各州郡县“于众居之所，各听建佛图一区，任其财用，不制会限。其好乐道法，欲为沙门，不问长幼，出于良家，性行素笃，无诸嫌秽，乡里所明者，听其出家。”“天下承风，朝不及夕，往时所毁图寺，仍还修复。佛像经论，皆复得显”。五台山佛教大约就在这个时候开始兴盛起来。
文成帝和平初（460年），以昙曜为沙门统，听从昙曜建议在大同城外武州山“凿山石壁，开窟五所，镌建佛像各一。高者七十尺，次六十尺。”这就是闻名后世的云岗石窟中的昙曜五窟。又听从昙曜所奏建立“僧祇户”和“佛图户”。
到孝文帝时，“五台山已有恒山寺、楼烦寺、白仁岩寺、宕昌寺、佛光寺、清凉寺、大孚灵鹫寺、碧山寺、真容院、铜钟寺、公主寺、观海寺、普济寺、木瓜寺、大谷寺等数十余座寺庙。”这些寺庙除大孚灵鹫寺、碧山寺、真容院等少数几座寺院在台内，其余都在台外。如果说大孚灵鹫寺是魏孝文帝所建，那么这些寺庙应该早于魏孝文帝之前，是在太武帝灭法前后逃匿到五台山的僧尼靠四方化缘、信徒布施所建。但包括孝文帝之前北魏六个帝王虽然五个半笃信佛教，却找不到一个在五台山下诏建佛寺的。
自北魏在五台山建寺以來，《古清涼传》载：其時山上寺院超过二百，北齐朝廷并“划八州之稅，以供山众衣药之资焉。”据《佛祖统纪》载：北齐武成帝高演在公元564年“诏慧藏法师于太极殿讲《六十华严》”，次年（565年），改五峰山为五台山。
北齐之时，佛教可说达到鼎盛，当时境内有编户二千万余口，出家的僧尼多达二百万，按北朝人刘昼的说法：当时有“僧尼二百许万，并俗女向有四百余万”。如果以僧尼合俗女计算，平均五个人里就有一个僧尼和居士，这是何等惊人的比例。所以当北周灭北齐前后，发生了周武灭佛的第二次法难。
北周建德三年（574年）周武帝下诏“断佛、道二教，经像悉毁，罢沙门、道士，并令还民。并禁诸淫祀，礼典所不载者，尽除之。”建德六年（577年)，北周灭北齐后，针对继续发展的佛教实体，立即推行灭佛政策，毁寺4万，强迫300万僧、尼还俗。五台山一度时期“芳徽盛轨，湮沦殆尽”。
隋朝建立后，隋文帝鉴于后周武帝灭法对佛教的摧残，深感痛心，一登帝位便大力扶持佛教，开皇元年（581年）三月下诏，五台山五个台顶各建寺院一所，设文殊像，每寺剃度僧人三名，让他们修行。开皇十一年（591年）“敕忻州刺史崔震持供于五台顶，设斋立碑”，供奉文殊菩萨，为皇后、皇妃、皇子祈福消灾。开皇十三年（593年）十二月，遣使到清凉山设斋，敕命修筑寺院。并制疏在五台山文殊像前宣读焚烧，为周武灭法赎罪。
唐代是五台山佛教的一个极盛时期，全山寺院360所，僧尼达万人。“始太宗，至德宗，凡九帝，莫不倾仰灵山，留心圣境。御扎天书，每光五顶。中使香药，不断岁时”。
李家父子起兵晋阳取天下，唐太宗视五台山为“祖宗植德之所”，敕令建寺十所，度僧数百，并下诏免收五台山寺院赋税。唐高宗显庆元年（656年）十月，下旨有司：“五台山等佛圣道场僧寺，不得征收税赋。”
武则天对五台山更是一往情深。显庆五年(660年)，武则天巡游并州时，“响慕高德，就山致礼”。麟德元年(664年)九月，派人到五台山采回菊花，闻花上沾染的佛香。龙朔二年(662年)，让会昌寺沙门会赜等去五台山检行圣迹，会赜等绘“文殊化现图”，撰《清凉山略传》，使五台山声名远播。吐蕃王遣使入唐求《五台山图》，遂有“五台山图小张”传入吐蕃，后在敦煌石窟中发现此图，成为国宝。长安二年(702年)，武则天梦游五顶，下旨并州刺史重建清凉寺。又派人挖回显通寺前大花园里花木万余株，移栽于宫庭御苑，遂使五台山花卉名闻天下。长安三年（703年），下旨感法师率领一百多僧人，到五台山设斋会，僧俗千人目睹天空五色祥云中呈现佛手，天仙白鹿。州牧闻听，上奏章贺瑞，武则天欣喜异常，封感法师为昌平开国公，食邑一千户，住持清凉寺并掌管全国僧尼事，正式确立五台山佛教国家道场地位。又下旨雕琢玉石文殊像，派大夫魏元忠送到清凉寺。亲自写信说：“朕过去亲承佛的悬记，如今敬送宝像，恢弘至道，光大阐扬佛理。因国事缠身，不能亲到圣境，恭叩慈容，敬告文殊大师明鉴。”对自己未能亲上五台山深表遗憾。
唐肃宗乾元元年（758年），下旨有司：“东南西北中五岳与五台山，各建寺院一所。选有高尚德行僧人住持。”
唐代宗广德元年（763年）十一月，下诏修五台山文殊殿，铸铜为瓦。造文殊像，高一丈六尺，镀金为饰。大历元年(766年)，不空三藏派其弟子含光创建金阁寺，代宗诏命十节度使助缘，上至文武百官，下至庶民百姓，皆慷慨解囊。并于金阁寺等5寺各置定额僧21人，作为密宗国家道场。
唐德宗贞元十二年（796年），下旨河东节度使李诜在五台文殊殿进香。同年，南印度乌荼国王，遣使进献《华严经》梵本入朝，并赍送奇香御节，到五个台顶朝拜。
五台山作为文殊道场，声名不但流传中国南北，也因当时的中外交通而传播至国外，来自日本、韩国、印度、狮子国的僧人都不远万里来五台山朝圣。佛陀波利是北印度罽宾国人，唐高宗年间（650—683年），远涉流沙，来朝五台，在思阳岭亲见文殊显圣，让他回印度取《佛顶尊胜陀罗尼经》来，以便广利群生。佛陀波利于是又返回印度，带着《佛顶尊胜陀罗尼经》二度来台，并译出此经。
而就在唐代佛教达到鼎盛之时，发生了唐武宗的灭佛事件。会昌四年（844年）七月，敕令毁拆天下凡房屋不满二百间，没有敕额的一切寺院、兰若、佛堂等，命其僧尼全部还俗。会昌五年四月，即在全国范围内展开全面毁佛运动。僧尼不论有牒或无牒，40岁以下者全部还俗，不久又规定为50岁以下，很快连50岁以上的如果没有祠部的度牒也要还俗，就连天竺和日本来的求法僧人也被强迫还俗。一切寺庙全部摧毁；所有废寺的铜像、钟磬悉交盐铁使销熔铸钱，铁交本州铸为农具。八月，下诏宣布灭佛结果：“天下所拆寺四千六百余所，还俗僧尼二十六万五百人，收充两税户；拆招提、兰若四万余所，收膏腴上田数千万顷，收奴婢为两税户十五万人。”
唐武宗会昌毁佛，并不是将全部僧尼驱出寺院，而是“敕两都左右街留寺四所，僧各三十人；天下州郡各留一寺，上寺二十人，中寺十人，下寺五人”。也就是说，有一小部分僧尼仍旧保留了僧籍。
唐武宗死后，宣宗即位，大中元年（847年）下诏：“会昌季年，并省寺宇。虽云异方之教，无损致理之源，中国之人，久行其道，厘改过当，事体未弘。其灵山胜境，天下州府，应会昌五年四月所废寺宇，有宿旧名僧，复能修创，一任主持，所司不得禁止。”
武宗灭法，五台山佛教遭到毁灭性的打击，但自宣宗至五代，又有了恢复。
宋金元时期，五台山佛教平稳发展。当时五台山有寺院73座，较盛的宗派有华严、唯识、天台等。
宋太宗太平兴国元年（976年），下诏让天下童子愿意出家的，发给度牒。这年又有诏书说：“五台山深林大谷，禅侣幽栖，免除全部税赋。并派遣宫中太监朝拜五台山，焚香虔诚祷祝，特别加以修建。太平兴国二年，太宗到成都，下旨用金泥书写佛经一藏，修完后，下旨让中使送五台菩萨院供养。每年允许剃度僧人五十名。让他们从事清修。
太宗太平兴国五年正月，下旨让张廷训前往五台山铸造金铜文殊和万菩萨像，奉安在真容院。下旨让张仁赞前往成都铸造金铜普贤像，高二丈，奉安在峨眉山普贤寺的白水，建造了一座大阁楼拿来覆盖。五年四月，派遣使者蔡廷玉等人，到五台山建寺，下旨让河东路有关部门运输供给修造费用。太平兴国七年八月寺院建成，赐名“太平兴国”。
宋真宗景德四年，拿出内库钱一万贯，赏赐五台山，让再次加以修葺，并且建造大阁一座，两层十三间，里边安置菩萨真容，赐额名“奉真之阁”。每年派遣内臣到五台山，设斋供养。
从宋太宗至仁宗三代圣主，眷想五台灵峰，流光五个台顶，对五台山都恩赐有加，题额赐匾，写信问候，“天书玉札，共三百八十轴。恢隆佛化，照耀林薮”。三个皇帝所赐墨宝有380多件，对于兴隆五台山佛教，恢复重建五台山寺院，呵护有加，使五台山香火在宋初盛极一时。
金朝诸帝接受了汉人崇佛的影响，均倾仰五台山文殊圣地，使五台山佛教在金代也有发展。金太宗于天会十五年（1137年），在佛光寺重建了7间木构建筑的文殊殿和5间木构建筑的天王殿。海陵王完颜亮于正隆三年（1158）建造了繁峙县灵岩寺（岩山寺），并命御前画臣王逵绘制水陆壁画。金世宗建了万岁寺、平章寺，重修了净名寺。时五台山密宗、禅宗、唯识宗都有发展。
元代帝王尊崇佛教，尤尊喇嘛教，《元史·释老传》载：“元兴，崇尚释氏，而帝师之盛尤不可与古昔同语。”遂使五台山佛教进入新的发展时期。
元朝初年，西藏喇嘛教开始传入五台山。忽必烈即位后，封西藏名僧八思巴喇嘛为国师，八思巴亲到五台山朝礼文殊，驻锡一年之久。元中统年间（1260—1263年），藏族高僧胆巴谒见了忽必烈，奉诏居五台山寿宁寺，近10年之久。随着胆巴住台，不少蒙藏喇嘛居于五台山，五台山的喇嘛教从此兴盛起来，遂使五台山成为国内独一无二的汉传佛教与藏传佛教并存的佛教圣地。
元代在五台山重修和新建的寺院有万圣佑国寺等十数座，规定每寺住僧300人。元代除喇嘛教兴起之外，其他宗派如华严、慈恩、禅宗也颇兴盛，并涌现出了不少高僧。
元世祖至元元年，下诏说：“朕眷念仰慕灵峰是文殊菩萨的道场，清修之士，冥赞化机，官民人等，不得侵暴。”第二年造佛经一藏，下旨送到五台山善住院，让僧人阅读，为国民造福。十二所佛寺，都进行了重新修建。元武宗数度发军，到五台山修建寺院。
元朝时，曾有两个皇帝巡幸五台山。元成宗元贞二年（1296年），成宗铁穆尔从燕京出发游礼五台山，在五台山见到文殊菩萨显现，大受感动，下旨建今南山寺前身万圣祐国寺。万圣佑国寺建成后，成宗诏洛阳白马寺真觉国师为其开山住持。并下旨建立“五台寺济民局”和灵鹫寺“铁冶提兴司”，施粥济民和管理发展冶炼铸铁。
元英宗至治二年(1322年)六月，英宗硕德八剌车驾至五台山，七月到应州，在五台山住了近一个月。据说他也曾看见文殊菩萨化现，闪耀着像照镜子一样清楚。于是在五台山“作水陆佛事七昼夜”。在王子烧身寺前被王子烧身的事迹感动，下旨修葺王子烧身寺，重建普门寺。并下旨“禁五台山樵采”。英宗儿子泰定帝又下旨“建殊像寺于五台山，赐田三百顷”，并在五台山大作佛事3次。从而使五台山佛教进入一段兴盛时期。
元代尊为帝师的藏传佛教萨迦派四祖萨迦班智达、五祖八思巴均被认为是文殊菩萨化身。在清凉寺出家的五台县人真觉大师被封为僧统，管理全国僧人事务。
金元时期，五台山创建了西寿宁寺、西天寺、护国寺、金灯寺、望海寺、普光寺、铁瓦寺、清源寺、石咀普济寺、五台县城广济寺、极乐寺等。
明清两代，五台山佛教再兴高潮。出身于僧侣的明代开国皇帝朱元璋，刚一即位就实行了保护佛教，兴隆佛教，尤尊汉藏佛教圣地五台山的政策。他先后诏见了五台山高僧金璧峰、具生吉祥，分别颁赐紫衣、金钵、度牒、御制诗等，命随方演教。
明成祖永乐四年秋，成祖派遣大智法王，班丹札释，从西土迎葛哩麻尊者进京，下旨封为大宝法王，大善自在佛。葛哩麻师天性喜爱林泉，不乐意住在京师，向成祖辞行。成祖说：“五台山深林幽谷，万圣所栖，大师可到那里去住。”下旨赐予銮舆旌幢伞盖等仪式，遣使送至大显通寺安置。于是下旨重修阿育王所置佛舍利塔与显通寺。
自明代开始引入五台山的格鲁派开宗祖师宗喀巴也被认为是文殊菩萨化身；而明成祖迎请噶举派教主噶玛巴四世进京供奉后驻锡显通寺，并赐封如来大宝法王的封号。明永乐十二年（1414年）春天，释迦也失从印度来中国，住在五台山显通寺。明成祖赐他金印，封他为“大国师”，以后，差不多每年都要写信问候。永乐十八年春，成祖制作《五台感应序》。永乐十九年夏的制书是这样写的：“朕惟大师，觉行圆融，慈悲利济。朕心瞻企，夙夜不忘。兹以岁序维新，特遣禅师板竹等，祝赞于朕，并以佛像等物来。鉴兹勤诚，良深嘉悦。今遣内宫戴与等，赍佛像等物并致偈赞，用表朕怀。”
宣宗宣德二年夏，上制书妙觉圆通国师释迦也失曰：“朕惟佛氏，道体冲玄，德用神妙，厥大无外，厥高无等。……追惟皇祖太宗文皇帝，皇考仁宗昭皇帝，鞠育深恩，如天罔极。欲举荐扬之典，一念之诚，夙夜惓切。惟大师功行高洁，定慧圆明，朕切慕之。特遣太监侯显，赍书礼请，冀飞锡前来，敷扬宝范，广阐能仁，以副朕诚，朕不胜瞻望之至。”
明英宗正统十年春的既望日，英宗刊印藏经，送到五台山普恩禅寺安放。英宗说：“朕体察天地保民之心，继承我曾祖、祖父、父亲弘扬佛道的志向，刊印大藏经典，颁赐天下，以使人民觉悟，造福国家。现在以一藏灵文，送普恩禅寺安藏，永远做为供养，听凭寺里僧徒，看诵赞扬，上为国家祝运，下与生民祈福。务须敬奉守护，不许其他人私借观看，以防轻慢毁坏亵渎，致有损失。违者追究治罪，故谕。”
英宗天顺二年夏天，英宗下旨论述护持山西五台显通等寺说：“……我朝曾建显通寺等寺，使僧徒居住清修，上祝国运，下祈民福，已经很多年了。前些时命令僧录觉义从铃住持显通寺。率领寺里的的僧徒，自在修行。现在特别下旨护持，但凡本寺及整个五台山各寺，不许一应官员军民人等侵扰，以免败坏佛教。违者以法治罪。故谕。”
这一年夏天，英宗下旨印造五大藏经，安放在五个台顶，各有圣旨护持，以充实教化，使人民觉悟。又下旨说：“朕想佛教，以空寂为宗旨，以普度为愿心。……如今五台山新建寺院，赐名‘圆照’，听从僧徒自在修行。那里的官员军民人等不得侮慢欺凌，以免败坏佛教。违者一定治罪无赦，故谕。”
宪宗成化七年夏天，宪宗给五台山都纲司下旨说：“朕观察佛教，古来不设僧官，僧众和美，法化自淳。后世佛圣远佛道衰，僧人不守戒律仪规，淫盗奸欺，无所不至。所以我的圣祖，不得已才设僧司来管理，希望可以恢复古风。五台山乃是国家祈福的地方，千岩万壑，都有清行僧众的住所。你们都纲司，要卫护他们，使修心的僧人，能够安心修行。有些不法僧人，依律处治。你们不能依仗官势残虐僧众，侵陵搜刮，违背朕的意愿。违犯的治罪。钦此，故谕。”
成化十七年，宪宗为他母亲祈祷安康，造镀金文殊像，高一丈零六寸，并画佛像一百幅，香火费五百两，布帛千匹，念珠万串，派遣太监李珍赍送五台山文殊寺，供养散施。这年六月，又下旨告喻五台山大文殊寺：“……现在继承我父亲崇善保民的心愿，下旨建五台山文殊寺，安排僧人十二名，每月供给粮食六斗，命令你短竹斑丹禅师焚香修行。上祝国运，下祈民福。一应官员军民，不许侵陵施暴，以免败坏佛教。违者治罪，故谕。”
明孝宗弘治十二年秋，孝宗写了疏文，派遣太监周辅，祭告五台山文殊大圣。
明武宗正德二年秋，武宗下旨建铜瓦殿，赐额名“广宗寺”，同时下圣谕护持。武德七年春，武宗下旨让梵僧朵尔只坚，在中台顶，建寺院一所，铸铁为瓦，赐额名“演教”，并下旨护持。
明神宗万历七年，下诏书建五台山塔院寺大宝塔，这年正月，神宗皇上为祈求生太子，派遣太监尤用、张本到大塔院寺，修无遮斋七天。万历十二年，派遣太监高勋、王忠，到五台山请僧人吃斋饭。万历十三年，下诏书写造《大藏经》，天下各名山，拿来充教化之宝，各有诏旨护持。五台得到其中两部藏经。万历二十六年夏六月，派遣御马监太监王忠、曹奉赍送白金一千两，在五个台顶以及狮子窝等处，修建弘福万寿报国佑民吉祥大斋。在千佛澡浴池，设大施粥会，十方四众，都让吃得饱满。这年秋九月，派遣官员曹奉赍送白金一千两，在狮子窝修建洪福万寿藏经楼阁。万历二十七年春三月，遣御马监太监王忠，赍送佛《大藏经》一藏给狮子窝。并赐寺额名：“大护国文殊寺”。万历二十八年夏四月，派遣太监王忠，赍送佛经三藏，安置中台、北台以外的其余三台，整个台山都给僧人吃斋饭。从此五台山钦赐藏经，共有六藏，都有圣谕护持，用以充实教化之宝，开发觉悟人民。
明朝时五台山寺院104所，僧侣众多，佛事兴盛。宗派以禅宗和藏传佛教为盛，而华严、律宗、净土诸宗皆有。
清朝建立以后，一任一任君主，无论其本人信佛与否，都相续不断地奉行着尊崇佛教的政策。到康、雍、乾朝，尊崇佛教，尤尊藏传佛教，已经成为一项基本国策。而五台山是中国佛教名山中唯一的清黄庙并存的汉藏佛教圣地，且离京城较近，于是清朝诸帝便特别重视扶持五台山佛教。
清廷发源在关东，注重喇嘛教。清世祖顺治入关登极后，屡次命令喇嘛启建护国佑民道场。在顺治十二年、十四年，各派数十名喇嘛，到五台山启建护国佑民道场。顺治十八年，特命阿王老藏喇嘛，住持五台山真容院。督理番汉僧众。
清圣祖康熙二十三年以后，天下太平，国家富裕。或隔一二年往五台山一次，或每年一次，由北京到台山，但凡吃饭住宿之处，都建了行宫。其中大的行宫有三处，一处在真定府，一处在南台下，一处在台怀。各大寺院都有宴坐之所。在各寺院，有的赐匾额，有的赐诗文，有的特别加以修葺，为寺院御制碑文就有十六道，御书宸翰，以及颁赐的珍宝之物，多的难以都记录下来。还亲封菩萨顶大喇嘛丹巴扎萨克为清修禅师，赐提督印和斩杀剑，命山西全省按时进贡钱粮。常住镇海寺的章嘉呼图克图则受命统辖蒙古和青海的佛教事务。
康熙皇帝曾五次巡游五台山，留下了许多传说故事和遗迹。康熙二十二年(1683)2月12日，康熙皇帝带皇太子首次巡幸五台山，经琉璃河、涞水河、易州丁哥庄、白涧村、满城县、唐县、王快镇、真定府、龙泉关，于20日到达五台山，驻跸于台怀镇菩萨顶。21日登南台，22日涉东台、北台，23日临西台、中台。于24日回銮路经长城岭时，一只为害多年屡次伤人的大老虎欲袭击銮驾，被康熙皇帝一箭射杀，由是此地改称射虎川，虎患为之绝灭。同年9月11日，康熙皇帝再次巡幸五台山，于27日返回京城。回銮后赋诗：“紫府名山忆旧踪，招提驻罕认云松。阴崖尚有春时雪，落日仍听下界钟。塞远浑河寒更白，林疏恒岳翠愈重。祝釐交叶人天庆，银榜新题遍五峰。”康熙三十七年(1698)3月28日，康熙皇帝携长子、三子第三次巡幸五台山，仍住菩萨顶行宫。4月11日返回京城畅春园。康熙四十一年(1702)2月1日，康熙皇帝带皇太子、四子和第十三子从畅春园起程第四次巡幸五台山，于二月初八宿于射虎川台麓寺，9日移住菩萨顶，游览后返回京师。康熙四十九年(1710)二月初二日，康熙皇帝带领皇太子、三子、八子、十子、十三子及十四子第五次巡幸五台山，宿于罗睺寺。康熙皇帝五次上五台山，赐梵文藏经2部，作诗15首，题匾55块，勒碑20余通，修葺寺庙20余座，赠送渗金菩萨像7尊，做各种法会8次，赐金银6000余两，其他赏赐不计其数。
雍正皇帝是在康熙皇帝第四次上五台山时以皇子贝勒的身份随驾的。他有《清凉纪游一十四首》，记述了他在五台山的行迹。其中《恭谒五台过龙泉关偶题》说：“兵象销时崇佛像，烽烟靖处始炉烟。治平功效无生力，赢得村翁自在眠。”抒发了他对父亲文治武功的赞颂和销兵象、靖烽烟，实现治平之世的雄心壮志。
乾隆皇帝继位后，效法其祖，曾六次朝台，广题诗文匾额，屡拨巨款重修寺院，乾隆十一年（1746）九月下旬，他沿着皇祖当年朝台的足迹瞻礼五台山，踏入山西五台山地界。沿途的自然美景，百姓的欢迎盛况，五台山佛教圣地的辉煌景况，让乾隆情动于中，灵感触发，写下了《自长城岭至台怀恭依皇祖元韵》：“五台夙所企，结念礼文殊。……时巡藉讲武，皇祖有鸿模：申命仆御臣，此行其可无!”表示他的巡幸是继承祖父巡幸讲武的传统，展示天家威仪，不可不行。在射虎川，他联想到皇祖朝台时在此射虎之事，写了《射虎川》：“何人政至于菟避，到处农桑信可征。”歌颂其皇祖文治武功，造福人民，连老虎也得逃避。乾隆皇帝这次朝台，由菩萨顶住持接驾，驻跸于菩萨顶，在菩萨顶建醮讲经，并对菩萨顶和五台山各黄庙赏赐了不少珍玩财宝。他徒步登台顶朝拜文殊菩萨，登了中台、西台、北台三座台顶后，劳累和寒冷使他对剩下的东台、南台两座台顶望而却步。因此，下诏在黛螺顶建五方文殊殿，称小朝台，再不必亲到五个台顶，即可朝拜五顶文殊。此次朝台，回驾台麓寺行宫后，天降瑞雪。乾隆皇帝触景生情写下了，《回銮即事》三首：其三曰“天公玉戏变暄寒，迤逦银衢碾翠銮。回望五台霄汉上，虚天真作化城观”。描述了雪后五台山仿佛化城幻境的感受。乾隆十五年(1750)二月，乾隆二十六年(1761)二月，乾隆皇帝又分别两次瞻礼五台山，为皇太后祈福祷寿。向国人宣扬礼佛敬佛，孝行天下。
乾隆皇帝三次朝台，都在菩萨顶驻跸。御驾一来，千乘万骑。寺庙里便显得非常拥挤。山西巡抚鄂弼便在菩萨顶侧和台麓寺旁建行宫，以供御驾安歇。然而，所建行宫仍不能满足御驾人众在台怀安宿之用，山西行省便又为其建台怀行宫。据说台怀行宫即五台山皇城。皇城大门名“五朝门”，上书“皇城”二字；门外有汉白玉石牌楼三楹，汉白玉石狮一对，御路、御桥等等；门内“有东西朝房各九间，是旧日皇上上山时，随从文武官员朝见候旨的地方；再往里走，即五大殿：曰中和殿、保和殿、太和殿、东西两边又有文华殿、武英殿，东有东华门，西有西华门，门东北方面，又有养鱼池，看花楼。”乾隆四十六年(1781)二月，乾隆第四次朝台便驻跸到了台怀行宫。乾隆皇帝《台怀行宫》诗云：“台怀每幸必于春，恒驻斯堂有宿因”；“前堂召对非无事，大吏咨诹总为民”。说他所以总在年初二月朝台是有原因的，巡幸完全是为了民生疾苦。乾隆五十一年（1786)二月第五次朝台，赏银八万两，作为五台黏补行宫，搭建桥梁，道路之费；乾隆五十七年(1792)二月，又赏修建台怀行宫费用二万两。足见五台山皇城之规模是何等宏大，富丽堂皇! 五台山皇城，据知情人讲，就在现今塔院寺、五爷庙前，一直由五台山菩萨顶大喇嘛管理。
嘉庆皇帝于嘉庆十六年(1811)春三月十八日恭谒西陵后，巡幸了五台山。嘉庆帝住在台怀镇菩萨顶行宫，用七天时间游览了五台山的主要景点，写下了《五台赞碑文》后回京。嘉庆皇帝受其先祖与乃父的影响，不仅视五台山为“神京之右臂”，更称其“诚中华卫藏”。所以，他对五台山佛教宠遇隆厚。
除了康熙，乾隆、雍正、嘉庆来过五台山。以后，国势日衰，清室皇帝再未朝台。但在光绪九年（1883年），清政府重建了万圣佑国寺，称为极乐寺。慈禧太后还御书了“真如自在”四字，赐予普济和尚，至今仍留存于南山寺。
清朝统治者注重鼓励蒙藏佛教徒朝拜五台山，融洽民族关系，五台山喇嘛教权倾一时。康熙四十四年（1705），敕令五台山菩萨顶等10寺改为喇嘛庙，实行从藏传佛教堪布中给五台山委任大喇嘛的制度，康熙亲封菩萨顶大喇嘛丹巴扎萨克为清修禅师，赐提督印和斩杀剑，命山西全省按时进贡钱粮。常住镇海寺的章嘉呼图克图则受命统辖蒙古和青海的佛教事务。乾隆皇帝还命在白水池建寺一所，归三世章嘉活佛私有，赐名永乐院。
在清代，蒙藏佛教徒对五台山非常崇拜，内外蒙进香者，每年四月至十月络绎不绝，遂使五台山的藏传佛教达到鼎盛时期。至嘉庆时，五台山有规模宏大的黄庙26所，喇嘛千余人，其中菩萨顶一寺就有喇嘛561人。
清代藏传佛教在五台山的崇奉不仅使文殊菩萨信仰有更深广丰富的内涵和更坚固的基础，同时也塑造了五台山汉、藏两种佛教的传承，汉、藏、蒙、满多个民族信众和谐共处的格局，具有珍贵独特的历史和现实价值。
至清末，五台山有青庙78所，僧侣亦在千人以上。清代汉传佛教宗派继承了明末余绪，以禅宗为主，禅宗中以临济宗居首。
清末至中华民国初期，五台山佛教仍保持一定的规模。据1936年统计，五台山有寺院130所，僧尼2200人，其中喇嘛800余人。民国年间，一些寺院僧人曾募捐扩建了南山寺、普化寺、龙泉寺、慈福寺、尊胜寺等。特别是由于民国政府对七世章嘉活佛大加重用，任命为国民政府委员、国大代表和蒙旗宣化使，五台山藏传佛教又兴盛一时。
1936年6月，梁思成、林徽因夫妇第四次来到山西，考察了五台山佛光寺，繁峙正觉寺，代县圆果寺、边靖楼等。此行，梁思成夫妇发现佛光寺为唐代建筑，称佛光寺建筑、雕塑、壁画、墨迹为四绝。
以五台山为中心的文殊信仰，自唐宋开始，还传到了日本、韩国、尼泊尔、泰国等地。唐贞观年间，新罗高僧慈藏来五台山求法，归国后将溟州白头山之大根脉改名为五台山。后孝昭王又在五座台顶建造了文殊院。唐宋时期，日本僧人至五台山求法不绝，唐代日僧圆仁归国后以五台山大华严寺为楷模，在比睿山延历寺建造文殊楼。宋太平兴国年间，日僧成算改称爱宕山为五台山，改称栖霞寺内的释迦堂为清凉寺。
从唐朝以来，外国佛界人士朝台纪略相传有，唐太宗贞观十年（636），新罗（今朝鲜）僧人金慈藏与其第子僧实10多人来五台山礼佛。唐高宗仪风元年（676）和四年（679），北印度僧人佛陀波利两次朝台，传入《佛顶尊胜陀罗尼经》，留下了在泗阳岭遇圣和入金刚窟不返的传说。唐德宗贞元十年（794），北印度僧人般若三藏巡礼五台山，拜瞻文殊灵迹。唐文宗开成三年（838），日本僧人圆仁乘遣舶抵扬州，后登五台山，从师志远于大华严寺（今显通寺）受学天台宗教义，而后入长安求法，于唐宣宗大中元年（847）返国。在他所著《入唐求法巡礼行记》中，叙述了唐代佛教和社会状况，介绍了五台山的寺庙建筑，佛事盛典和风俗民情，对中日文化交流做出了可贵的贡献。唐宣宗大中年间，日本僧人惠萼在朝拜五台山时得到观音像一尊，于大中十二年（858）有明州航海准备回国。船行到普陀山不能前进，他便下船奉像结庐供养，在当地僧俗信徒的支持下，开创了普陀山观音道场。
宋元丰八年（1085），日本名僧固然、寂昭、成导等3人来山朝礼。金皇统年间（1141—1149年），北印度僧人呼哈罗悉利和他的从弟三摩耶悉利等7人巡礼五台。印度那烂陀寺高僧苏陀室利以专攻《华严》著名。弟子中有3人返国，3人死亡，仅余1人随同，历经六载到达，未及宣译，卽示寂于灵鹫寺（今显通寺）。
明成祖永乐年间，鸟斯藏僧大法宝王（名葛哩嘛），应明成祖之请来中国，后朝五台山，住于显通寺。寂后，帝令太监杨升，塑像于显通寺法堂。明永乐十二年（1414），天竺迦毗罗国世尊之裔释迦也失，朝礼五台山，住于显通寺。宣德六年（1431），旋返西藏。明时，中天竺加维罗国僧人具生吉祥，尼泊尔僧人室利沙，都远道而来，与境内僧人朝夕谈经，晨昏事佛，卒后又都落葬于五台山。
今天，五台山文殊信仰更为兴盛，来山朝拜者遍及全球。
特别鸣谢
